高芯(河南)半导体有限公司吴春平获国家专利权
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龙图腾网获悉高芯(河南)半导体有限公司申请的专利一种用于金刚石单晶基片的表面清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224157433U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520982992.6，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种用于金刚石单晶基片的表面清洗装置是由吴春平;卫红;丁然设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于金刚石单晶基片的表面清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体材料加工领域，公开了一种用于金刚石单晶基片的表面清洗装置，包括：超声波清洗机，所述超声波清洗机上设置有清洗机构；所述清洗机构包括液压缸、推架、伺服电机、转轴、转板、主气囊、内挡气囊、充气管、活塞杆、移动件和丝杆；所述液压缸的液压杆与推架固定连接，所述伺服电机固定安装在推架上，所述伺服电机输出端与转轴固定连接，所述转板固定安装在转轴上。本实用新型具有以下优点和效果：气囊的柔性材质可吸收冲击力，避免基片因刚性碰撞出现划痕、碎裂等损伤，相较传统清洗方式，极大提升基片良品率，将超声清洗与热风烘干功能集成于同一装置，缩短整体加工周期，提升生产效率。
本实用新型一种用于金刚石单晶基片的表面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种用于金刚石单晶基片的表面清洗装置，其特征在于，包括： 超声波清洗机1，所述超声波清洗机1上设置有清洗机构； 所述清洗机构包括液压缸3、推架4、伺服电机5、转轴6、转板7、主气囊8、内挡气囊9、充气管11、活塞杆12、移动件13和丝杆14； 所述液压缸3的液压杆与推架4固定连接，所述伺服电机5固定安装在推架4上，所述伺服电机5输出端与转轴6固定连接，所述转板7固定安装在转轴6上，所述主气囊8固定安装在转板7上，所述内挡气囊9固定安装在主气囊8的内侧且与主气囊8内部连通，所述充气管11固定安装在主气囊8上，所述活塞杆12滑动密封安装在充气管11上，所述移动件13与活塞杆12固定连接，所述丝杆14与移动件13螺纹连接。
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