上海芯畀科技有限公司高翔鹰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯畀科技有限公司申请的专利带清洗检测QDR槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224157395U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520968858.0，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型带清洗检测QDR槽是由高翔鹰;胡进忠;韩军设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本带清洗检测QDR槽在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体领域，具体涉及带清洗检测QDR槽，包括顶部开口的清洗槽，清洗槽的底部侧方设有进水管，清洗槽的底部设有排水口，清洗槽的顶部外围固定安装有用于盛接清洗槽溢出的液体的溢流槽；清洗槽的顶部设有左右相对设置的两个活动架，两个活动架由动力机构驱动相互靠近或远离，两个活动架上分别安装有可绕自身轴线转动的喷淋管，喷淋管沿垂直于活动架的移动方向水平延伸，清洗槽上还设有用于带动喷淋管转动的角度调节组件；本申请在喷淋管对晶圆进行冲洗的过程中，通过电机带动正反牙丝杆正反交替转动，进而带动两个喷淋管相互靠近和相互远离交替运动，使得喷淋管在移动的同时喷淋水雾。
本实用新型带清洗检测QDR槽在权利要求书中公布了：1.带清洗检测QDR槽，其特征在于：包括顶部开口的清洗槽，所述清洗槽的底部侧方设有进水管，所述清洗槽的底部设有排水口，所述清洗槽的顶部外围固定安装有用于盛接所述清洗槽溢出的液体的溢流槽；所述清洗槽的顶部设有左右相对设置的两个活动架，两个所述活动架由动力机构驱动相互靠近或远离，两个所述活动架上分别安装有可绕自身轴线转动的喷淋管，所述喷淋管沿垂直于所述活动架的移动方向水平延伸，所述清洗槽上还设有用于带动所述喷淋管转动的角度调节组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海芯畀科技有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄8号二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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