亿威盛半导体科技(上海)有限公司丁双伟获国家专利权
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龙图腾网获悉亿威盛半导体科技(上海)有限公司申请的专利一种基于深度学习的多传感器协同晶圆位姿实时矫正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121515220B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610049549.2，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权一种基于深度学习的多传感器协同晶圆位姿实时矫正方法是由丁双伟设计研发完成，并于2026-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于深度学习的多传感器协同晶圆位姿实时矫正方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于深度学习的多传感器协同晶圆位姿实时矫正方法，属于半导体智能制造技术领域；本发明方法采用眼在手外模式的全局视觉与眼在手上模式的局部激光扫描相结合的异构感知架构，通过专门设计的双流多模态注意力网络，从纹理图像和深度点云中提取互补特征，实现对翘曲晶圆六自由度位姿的亚毫米级预测。基于预测结果，利用变阻抗控制模型生成机械臂的柔顺补偿轨迹，在接触瞬间动态调整机械臂刚度，彻底解决了翘曲晶圆抓取过程中的应力损伤问题。
本发明授权一种基于深度学习的多传感器协同晶圆位姿实时矫正方法在权利要求书中公布了：1.一种基于深度学习的多传感器协同晶圆位姿实时矫正方法，其特征在于，包括以下过程： S1，基于工业相机采集覆盖晶圆完整表面的全局纹理图像，基于机械臂带动线激光传感器采集高密度的局部深度轮廓点云数据； S2，计算手眼标定矩阵进行时空配准；基于空间插值与坐标变换将局部深度轮廓点云数据重构为连续的原始三维点云数据；将反向投影至相机的成像平面，采用深度缓冲仅保留距离相机光心最近的深度值，生成深度图，将的三颜色通道与的单深度通道在通道维度拼接得到四通道的多模态输入数据张量； S3，将和输入训练完成的晶圆六自由度位姿预测双流深度学习模型，输出晶圆中心的预测平移向量与空间姿态的预测单位四元数；模型包括纹理特征提取分支、几何特征提取分支、协同注意力融合模块和多任务位姿回归头； S4，首先利用预测位姿与标准示教的参考位姿矩阵的逆运算解算偏差矩阵，构建六维姿态误差向量及二阶阻抗动力学控制律；随后基于垂直高度偏差实时调节Z轴刚度与阻尼参数以实现柔性动作矫正。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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