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龙图腾网获悉扬博科技股份有限公司申请的专利湿制程加工设备及用于其的旋转载具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117320278B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210721652.9，技术领域涉及：H05K3/00；该发明授权湿制程加工设备及用于其的旋转载具是由苏胜义;巫坤星;吕理榕;苏绍君;黄世达设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本湿制程加工设备及用于其的旋转载具在说明书摘要公布了：一种湿制程加工设备及用于其的旋转载具，其中湿制程加工设备包括：一感测组件、一喷射装置、一调压组件、一喷洒装置、一机体、一输送单元以及一控制器。借由在机体内设置有感测组件以及在每一旋转载具上设置有一被感测件，且控制器具有设定转速，使能以控制器计算出每一旋转载具的感测转速，再以控制器比较感测转速和设定转速，若不相同则以控制器控制调压组件对喷射装置调整流体压力，使旋转载具所被感测到的感测转速等于设定转速。借此，以具有能够调整各旋转载具的转速的效果。

本发明授权湿制程加工设备及用于其的旋转载具在权利要求书中公布了：1.一种湿制程加工设备，用以对设在旋转载具上的基板加工，所述旋转载具上设置有一被感测件，其特征在于，该湿制程加工设备包括： 一机体，设置有一输送单元，该输送单元吊挂有所述旋转载具，该输送单元带动所述旋转载具于该机体内移动而产生一移动路径； 一感测组件，包含对应该移动路径配置于该机体内的一排若干个感测元件，且该若干个感测元件是磁感应型的感测元件； 一喷洒装置，设置于该机体内且对所述基板喷洒工作液体； 一喷射装置，设置于该机体内且连接有一调压组件，该喷射装置喷射流体冲击所述旋转载具，所述旋转载具受动于所述流体的冲击而连同所述被感测件一起旋转，且所述被感测件是金属件；以及 一控制器，电性连接该感测组件和该调压组件且具有一设定转速； 该机体内定义有至少两个喷洒区以及位于各该喷洒区之前的一启动区，该启动区和各该喷洒区是沿该移动路径配置； 该喷射装置具有至少两个冲击喷射组以及一启动喷射组，该调压组件包含至少两个冲击调压元件以及一启动调压元件；该启动区配置有该若干个感测元件中的至少两个该感测元件、该启动喷射组和该启动调压元件，该启动调压元件连接该启动喷射组； 每一该喷洒区配置有该若干个感测元件中的至少一该感测元件、该冲击喷射组和该冲击调压元件，各该冲击调压元件连接各该冲击喷射组； 所述旋转载具借由在该机体内移动，使所述被感测件跟随所述旋转载具移动而邻近于该感测元件； 其中，该控制器控制该启动调压元件让该启动喷射组喷射流体带动各所述旋转载具开始旋转，该启动区的每一该感测元件感测到每一所述旋转载具的所述被感测件而产生一触发讯号给该控制器，该控制器借由该启动区的两个该感测元件所提供的该触发讯号计算出一感测转速，该控制器还借由彼此相邻的该喷洒区的该感测元件与该启动区的该感测元件所提供的触发讯号计算出该感测转速；该控制器将该感测转速与该设定转速比较，当该感测转速不等于该设定转速时，该控制器控制该调压组件对该喷射装置调整流体压力使各所述旋转载具所被感测到的该感测转速等于该设定转速。

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