梭特科技股份有限公司卢彦豪获国家专利权
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龙图腾网获悉梭特科技股份有限公司申请的专利利用气流检测固晶状态的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117316789B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210707163.8,技术领域涉及:H10P74/00;该发明授权利用气流检测固晶状态的方法是由卢彦豪设计研发完成,并于2022-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用气流检测固晶状态的方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种利用气流检测固晶状态的方法,包括下列步骤:晶粒的局部区块脱离固晶装置并且接触基板以形成贴合波;贴合波从晶粒的局部区块往晶粒的其他区块的方向扩散并且具有扩散趋势,使得晶粒逐渐脱离固晶装置并且固定于基板上;气流沿着晶粒的表面流动;感测不同位置的气流的流量或压力变化程度并且获得多个感测信息;根据所述多个感测信息判定晶粒与固晶装置分离的距离变化程度;根据晶粒与固晶装置分离的距离变化程度判定贴合波的扩散趋势;以及,根据贴合波的扩散趋势判定晶粒是否与基板紧密贴合。本发明的技术方案,能够精确地辨识出晶粒是否与基板紧密贴合。
本发明授权利用气流检测固晶状态的方法在权利要求书中公布了:1.一种利用气流检测固晶状态的方法,其特征在于,包括下列步骤: 一晶粒的局部区块脱离一固晶装置并且接触一基板以形成一贴合波; 所述贴合波从所述晶粒的局部区块往所述晶粒的其他区块的方向扩散并且具有一扩散趋势,使得所述晶粒逐渐脱离所述固晶装置并且固定于所述基板上; 一气流沿着所述晶粒的表面流动; 感测不同位置的所述气流的流量或压力变化程度并且获得多个感测信息; 根据所述多个感测信息判定所述晶粒与所述固晶装置分离的距离变化程度; 根据所述晶粒与所述固晶装置分离的距离变化程度判定所述贴合波的所述扩散趋势;以及 根据所述贴合波的所述扩散趋势判定所述晶粒是否与所述基板紧密贴合。
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