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龙图腾网获悉安徽京仪自动化装备技术有限公司申请的专利用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115657758B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210771416.8，技术领域涉及：G05D23/30；该发明授权用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置是由李文博;何茂栋;王晓尉设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置，其中方法包括：采集机台在带载状态下循环液体的温度数据和流量数据；根据所述温度数据和所述流量数据确定负载系统中加热器在不同采样时刻的热量值；根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比；根据所述加热器在不同采样时刻的占空比控制所述加热器的通断。本申请利用现场采集的温度数据、流量数据确定加热器的热量值，然后利用热量值和加热器功率确定占空比，通过设定加热器的占空比来控制加热器的通断，实现加热器出口温度和现场采集的回口温度曲线的一致性，使得半导体温控设备可以更好地满足主设备的工艺要求。

本发明授权用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体温控设备的负载系统的控制方法，其特征在于，包括： 采集机台在带载状态下循环液体的温度数据和流量数据； 根据所述温度数据和所述流量数据确定负载系统中加热器在不同采样时刻的热量值； 根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比； 根据所述加热器在不同采样时刻的占空比控制所述加热器的通断； 其中，所述根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比，包括： 根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的初始占空比； 根据不同采样时刻对应的修正系数对不同采样时刻的初始占空比进行修正，得到所述加热器在不同采样时刻的占空比； 其中，所述加热器的热量参数包括所述加热器的功率和所述加热器的开关周期，所述确定所述加热器在不同采样时刻的占空比，包括： 根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的功率，确定所述加热器在不同采样时刻的导电时长； 根据所述加热器在不同采样时刻的导电时长、所述开关周期和修正系数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比。

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