珠海恒格微电子装备有限公司李志强获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海恒格微电子装备有限公司申请的专利一种印制电路板孔内等离子除胶方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121194397B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511705305.7，技术领域涉及：H05K3/00；该发明授权一种印制电路板孔内等离子除胶方法是由李志强;赵义党;许辉;陈磊设计研发完成，并于2025-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种印制电路板孔内等离子除胶方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种印制电路板孔内等离子除胶方法，其在保持抽真空速率和通入第一工艺气体流量不变的前提下，启动射频电源第一设定时间，电极板将第一工艺气体解离成等离子体，等离子体包裹住印制电路板，在这一段时间内等离子体和孔内胶渣的一部分发生反应生成副产物；之后关闭射频电源第二设定时间，这一段时间内印制电路板表面附着的等离子体会被第一工艺气体替代，印制电路板孔内副产物在抽真空作用下逸出并被带走；之后再启动射频电源第一设定时间，又有新生成的等离子体进入孔中心位置进行刻蚀，重复上述的步骤至设定总时间，分步分次完成除胶，提高高厚径比印制电路板的刻蚀均匀性。
本发明授权一种印制电路板孔内等离子除胶方法在权利要求书中公布了：1.一种印制电路板孔内等离子除胶方法，包括如下步骤： 步骤S1，在真空仓内，设置至少两块平行的电极板，所述电极板和射频电源连接； 步骤S2，每两块所述电极板之间设置一块印制电路板； 步骤S3，对所述真空仓持续抽真空，以保持所述真空仓的真空压力始终小于或等于设定真空压力； 其特征在于，还包括如下步骤： 步骤S4，向所述真空仓持续通入第一工艺气体，并检测和控制所述真空仓内第一工艺气体的流量； 步骤S5，当所述真空仓内第一工艺气体流量达到设定值后，启动所述射频电源，以将所述第一工艺气体解离成等离子体； 步骤S6，启动所述射频电源第一设定时间后，关闭所述射频电源，保持抽真空速率和通入第一工艺气体的流量不变； 步骤S7，关闭所述射频电源第二设定时间后，再启动所述射频电源，保持抽真空速率和通入第一工艺气体流量不变； 步骤S8，重复上述步骤S6和S7达到设定总时间后，完成所述印制电路板孔内等离子除胶。
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