武汉鑫威源电子科技有限公司杨兰获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉鑫威源电子科技有限公司申请的专利一种GaN基蓝光激光器外延结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121172564B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511707417.6,技术领域涉及:H01S5/20;该发明授权一种GaN基蓝光激光器外延结构及其制备方法是由杨兰;印新达;周志学;张振峰设计研发完成,并于2025-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种GaN基蓝光激光器外延结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体激光器技术领域,具体涉及一种GaN基蓝光激光器外延结构及其制备方法,包括衬底,衬底上依次层叠设置有N型GaN层、N型下限制层、N型下波导层、有源区、上波导层、U型覆盖层、P型电子阻挡层、P型上限制层、P型接触层;P型电子阻挡层包括依次层叠设置的AlN子层和P型InAlGaN子层。本发明的P型电子阻挡层利用P型InAlGaN子层的压电极化和自发极化引发异质界面处能带的巨大弯折,使P型掺杂剂受主能级处于费米能级以下,提高截面处P型掺杂剂受主的离化率,从而提高空穴浓度;并在靠近有源区一侧采用高Al组分的AlN子层,可以拉高能带,限制有源区的电子溢流,减少电子与空穴在非复合区发生非辐射复合,从而提高器件的发光效率。
本发明授权一种GaN基蓝光激光器外延结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种GaN基蓝光激光器外延结构,包括衬底,其特征在于:所述衬底上依次层叠设置有N型GaN层、N型下限制层、N型下波导层、有源区、上波导层、U型覆盖层、P型电子阻挡层、P型上限制层、P型接触层;所述P型电子阻挡层包括依次层叠设置的AlN子层和P型InAlGaN子层;所述P型InAlGaN子层为以下结构中的任意一种: a所述P型InAlGaN子层为单层Al组分变化的P型InxAlyGa1-x-yN子子层,或者所述P型InAlGaN子层为多层Al组分变化的P型InxAlyGa1-x-yN子子层依次层叠的复合结构,其中,0≤xy1,0x+y1; b所述P型InAlGaN子层为多层Al组分恒定的P型InxAlyGa1-x-yN子子层循环层叠的超晶格结构,或者所述P型InAlGaN子层为多层Al组分变化的P型InxAlyGa1-x-yN子子层循环层叠的超晶格结构,其中,0≤xy1,0≤y1,0x+y1; c所述P型InAlGaN子层为单层多层Al组分恒定的P型InxAlyGa1-x-yN子子层与单层多层Al组分变化的P型InxAlyGa1-x-yN子子层交替层叠的超晶格结构,其中,0≤xy1,0x+y1。
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