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龙图腾网获悉九未实业(上海)有限公司申请的专利一种用于气相沉积的流量控制柜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121161270B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511175516.4，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种用于气相沉积的流量控制柜是由汪宇澄;汪雨;陈尚加;罗滔设计研发完成，并于2025-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于气相沉积的流量控制柜在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于气相沉积的流量控制柜，涉及气相沉积技术领域，包括控制箱，所述控制箱内部设置有两组流量控制机构；所述流量控制机构包括两组固接于腔体内部两侧的空心半圆块，所述空心半圆块内均滑动连接有实心半圆盘，所述空心半圆块上设置有多个气孔一；阻气盘，所述阻气盘滑动于腔体的一侧内。本发明中采用双径管与旋转堵头联动设计，通过切换管径改变气体推力，结合弹簧与连杆动态调节实心半圆盘开度，实现流量多级精准控制，响应速度快且抗干扰能力强，同时空心半圆块与实心半圆盘的滑动配合结构，配合弹簧二自动复位，确保气孔一开度与气体推力线性匹配，提升微流量调节稳定性。

本发明授权一种用于气相沉积的流量控制柜在权利要求书中公布了：1.一种用于气相沉积的流量控制柜，其特征在于，包括控制箱1，所述控制箱1内部设置有两组流量控制机构6； 所述流量控制机构6包括两组固接于腔体600内部两侧的空心半圆块608，所述空心半圆块608内均滑动连接有实心半圆盘610，所述空心半圆块608上设置有多个气孔一609； 阻气盘601，所述阻气盘601滑动于腔体600的一侧内； 两组连杆607，所述两组连杆607的一端均铰接于阻气盘601的一侧，所述两组连杆607的另一端均通过两组滑动块611与实心半圆盘610相连接； 弹簧一604，所述弹簧一604设置于连接筒603内； 两组所述实心半圆盘610均滑动于两组空心半圆块608的中部； 两组弹簧二612，所述两组弹簧二612均设置于两组空心半圆块608中部开设的滑槽内； 所述两组弹簧二612均与两组连杆607铰接连接； 阻气盘601带着两组连杆607向后推动，两组连杆607带着两组实心半圆盘610沿着两组空心半圆块608的中部打开，减少对多个气孔一609的遮挡，实现对气体通过流量的控制。

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