广东科视光学技术股份有限公司陈志特获国家专利权
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龙图腾网获悉广东科视光学技术股份有限公司申请的专利一种立式曝光机以及控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120871551B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511274943.8,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种立式曝光机以及控制方法是由陈志特;龚海峰设计研发完成,并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式曝光机以及控制方法在说明书摘要公布了:本发明涉及曝光机技术领域,提供一种立式曝光机以及控制方法,其包括:支撑座;曝光机构,设于所述支撑座,用于对工件进行曝光;框架部,所述框架部竖立于所述支撑座设置,所述框架部包括安装部和牵引组件;所述安装部用于安装工件,所述牵引组件用于对所述安装部上的工件进行展平。本申请中的立式曝光机使得工件安装后竖立,牵引组件可以沿着重力方向对工件展平,更易拉平工件,提高工件的平整度。
本发明授权一种立式曝光机以及控制方法在权利要求书中公布了:1.一种立式曝光机,其特征在于,包括: 支撑座; 曝光机构,设于所述支撑座,用于对工件进行曝光; 框架部,所述框架部竖立于所述支撑座设置,所述框架部包括安装部和牵引组件; 所述安装部用于安装工件,所述牵引组件用于对所述安装部上的工件进行展平; 所述安装部包括第一夹持部和第二夹持部,所述第一夹持部和所述第二夹持部分别对工件两侧进行夹持; 所述第一夹持部固定设置于所述框架部;所述第二夹持部连接于所述牵引组件,所述牵引组件能够牵引所述第二夹持部移动; 所述牵引组件包括第一牵引部和第二牵引部; 所述第一牵引部用于对工件进行整体展平; 所述第二牵引部用于对工件的不同位置进行单独展平。
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