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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种腔室升温监测方法及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120164807B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311725309.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种腔室升温监测方法及半导体工艺设备是由范雅倩设计研发完成，并于2023-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种腔室升温监测方法及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，提供了一种腔室升温监测方法及半导体工艺设备。方法包括：获取影响工艺腔室升温过程的相关变量的实时数据，以及获取工艺腔室中加热部件的实时温度实际值，其中，相关变量包括连续型变量和数字型变量，数字型变量包括工艺腔室的通水状态和控温模式；将相关变量的实时数据输入至预先训练得到的温度预测模型，通过温度预测模型输出加热部件的实时温度预测值，其中，温度预测模型基于加热部件的历史温度实际值和相关变量的历史数据训练得到；通过比较加热部件的实时温度实际值与加热部件的实时温度预测值，获得工艺腔室升温过程的实时监测结果，以提高工艺腔室升温过程监测结果的准确性。

本发明授权一种腔室升温监测方法及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种腔室升温监测方法，其特征在于，应用于工艺腔室，所述工艺腔室包括加热部件； 所述方法包括： 获取影响所述工艺腔室升温过程的相关变量的实时数据，以及获取所述工艺腔室中所述加热部件的实时温度实际值，其中，所述相关变量包括连续型变量和数字型变量，所述数字型变量包括所述工艺腔室的通水状态和控温模式，所述连续型变量指的是随着时间连续性变化的变量； 将所述相关变量的实时数据输入至预先训练得到的温度预测模型，通过所述温度预测模型输出加热部件的实时温度预测值，其中，所述温度预测模型基于加热部件的历史温度实际值和相关变量的历史数据训练得到； 通过比较所述加热部件的实时温度实际值与所述加热部件的实时温度预测值，获得所述工艺腔室升温过程的实时监测结果； 其中，所述温度预测模型由以下训练过程预先训练而成：将训练集中的所述相关变量的历史数据输入至预设的原始预测模型，通过所述原始预测模型输出加热部件的训练温度预测值，其中，所述原始预测模型基于长短期记忆神经网络预先配置；其中，训练集和验证集为所述相关变量的历史数据和所述历史温度实际值按照预设比例划分而得； 比较所述加热部件的训练温度预测值与所述加热部件的历史温度实际值是否小于训练阈值； 若是，通过所述验证集中的所述相关变量的历史数据，对所述原始预测模型中的参数进行测试和优化后，将所述原始预测模型确定为所述温度预测模型； 若否，调整所述原始预测模型的内部参数，重新对所述原始预测模型进行训练，直至获得所述温度预测模型。

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