北京北方华创微电子装备有限公司宋爱军获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利存片机构、翻转机构、翻转装置及传输系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119993879B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311501655.2，技术领域涉及：H10P72/10；该发明授权存片机构、翻转机构、翻转装置及传输系统是由宋爱军;赵宏宇;张敬博设计研发完成，并于2023-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本存片机构、翻转机构、翻转装置及传输系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种存片机构、翻转机构、翻转装置及传输系统，涉及半导体装备领域。一种存片机构包括：多个限位端，每个限位端在存片机构的中部区域至边缘区域的方向上可移动，且每个限位端朝向中部区域的一侧设有多层分别用于限位多片晶圆的限位槽。一种翻转机构，包括翻转部件、第一夹持端和第二夹持端，第一夹持端和第二夹持端分别与翻转部件连接，并可以相对靠近或远离，第一夹持端设有多层第一夹持槽，第二夹持端设有多层第二夹持槽，多层第一夹持槽与多层第二夹持槽分别对应设置，用于夹持多片晶圆；一种翻转装置，包括上述存片机构和翻转机构。一种传输系统，包括上述翻转装置。本申请至少能够解决晶圆的翻转、传输效率低等问题。
本发明授权存片机构、翻转机构、翻转装置及传输系统在权利要求书中公布了：1.一种存片机构，其特征在于，包括：多个限位端，每个所述限位端在所述存片机构200的中部区域至边缘区域的方向上可移动，且每个所述限位端朝向所述中部区域的一侧设有多层限位槽2131，多层所述限位槽2131分别用于限位多片晶圆； 所述存片机构200包括安装座211、直线驱动件2121、连接杆2122和作为所述限位端的限位件213，所述安装座211的靠近所述中部区域的位置设有容纳腔体2114，所述直线驱动件2121设于所述容纳腔体2114内，所述连接杆2122连接于所述直线驱动件2121与所述限位件213之间，且所述连接杆2122穿出所述容纳腔体2114的侧壁。
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