沈阳富创精密设备股份有限公司董丰园获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种适用于光伏镀膜匀气装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119753577B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411760391.7,技术领域涉及:C23C14/22;该发明授权一种适用于光伏镀膜匀气装置是由董丰园;张传捷;潘虹;张伟东;刘昂设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于光伏镀膜匀气装置在说明书摘要公布了:本发明涉及光伏制造技术领域,具体是一种适用于光伏镀膜匀气装置,包括上盖板、下主体、左封板和右封板,上盖板的底部与下主体的底部气密性地固定连接形成装置本体,在装置本体内设置有匀气气道,匀气气道依次包括进气口、进气道、储气室、匀气孔、缓冲腔、气阻、缓冲腔、气阻和出气口;在下主体的下部设置有冷却水道,冷却水道设置在出气口的两侧,左封板和右封板分别气密性地固定连接在下主体的下部的两端,在左封板和右封板上分别设置有相对应的进水接口或出口接口,在左封板上还设置有热电偶安装孔。该适用于先进光伏镀膜匀气装置能够保证多种反应气体出气均匀性,反应气体温度可控性,操作方便,使镀膜工艺良率、效率得到有效提高。
本发明授权一种适用于光伏镀膜匀气装置在权利要求书中公布了:1.一种适用于光伏镀膜匀气装置,其特征在于,包括上盖板1、下主体2、左封板3和右封板4,上盖板1的底部与下主体2的底部气密性地固定连接形成装置本体,在装置本体内设置有匀气气道,匀气气道依次包括进气口、进气道、储气室、匀气孔、缓冲腔、气阻、缓冲腔、气阻和出气口,进气口和出气口分别设置在上盖板1的顶部和下主体2的底部,储气室和缓冲腔之间通过若干个匀气孔连通;在下主体2的下部设置有冷却水道9,冷却水道9设置在出气口的两侧,左封板3和右封板4分别气密性地固定连接在下主体2的下部的两端,在左封板3和右封板4上分别设置有相对应的进水接口或出口接口,在左封板3上还设置有热电偶安装孔301,所述匀气气道包括单通道6、双通道7和四通道8,单通道6设置在中间,在单通道6两侧双通道7和四通道8交叉设置,上盖板顶部设有三个进气口,分别对应四通道进气口、单通道进气口和双通道进气口,用于引入三种不同的反应气体,气体通过进气通道进入分气通道,被均匀分配至七条内部通道中。
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