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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利束流均匀性调节方法、装置、存储介质及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119742214B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411868326.6，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权束流均匀性调节方法、装置、存储介质及电子设备是由姜仁学;张喻召;王博喜;郑春海;张丛;田龙设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本束流均匀性调节方法、装置、存储介质及电子设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种束流均匀性调节方法、装置、存储介质及电子设备，该方法包括：获取历史调节数据；从历史调节数据中确定出当前训练状态向量，并调用应用调节模型，确定当前训练状态向量对应的器件调节向量；基于器件调节向量，确定应用调节模型的调节模型损失值；并按照减小调节模型损失值的方向，更新应用调节模型中的模型参数；迭代执行从历史调节数据中确定出当前训练状态向量，直至满足目标模型训练条件，以完成通过历史调节数据对应用调节模型的模型训练，应用调节模型支持用于指导对目标离子注入机的束流均匀性调节。本发明实施例可提高束流均匀性调节的准确性，以提高束流均匀性的调节效率。

本发明授权束流均匀性调节方法、装置、存储介质及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种束流均匀性调节方法，其特征在于，包括： 获取历史调节数据，所述历史调节数据包括目标离子注入机的多个历史状态向量，一个历史状态向量包括所述目标离子注入机在一个历史采集时刻下的束流状态向量和器件状态向量； 从所述历史调节数据中确定出当前训练状态向量，并调用应用调节模型，确定所述当前训练状态向量对应的器件调节向量； 基于所述器件调节向量，确定所述应用调节模型的调节模型损失值；并按照减小所述调节模型损失值的方向，更新所述应用调节模型中的模型参数； 其中，所述基于所述器件调节向量，确定所述应用调节模型的调节模型损失值，包括： 基于所述器件调节向量，确定更新束流状态向量和更新器件状态向量，并基于所述更新束流状态向量和所述更新器件状态向量，确定所述当前训练状态向量对应的当前更新状态向量，所述更新束流状态向量是按照所述器件调节向量进行调节后的束流状态向量； 确定所述当前更新状态向量对应的收益信息和工艺状态信息，所述收益信息为所述当前更新状态向量中的束流状态向量对应的束流均匀性指示值与所述当前训练状态向量中的束流状态向量对应的束流均匀性指示值之间的差值；其中，当所述更新束流状态向量对应的束流均匀性指示值小于或等于预设束流均匀性阈值时，所述工艺状态信息为满足目标工艺需求指示信息；当所述更新束流状态向量对应的束流均匀性指示值大于所述预设束流均匀性阈值时，所述工艺状态信息为未满足目标工艺需求指示信息； 基于所述当前训练状态向量、所述当前更新状态向量、器件调节向量、所述收益信息和所述工艺状态信息，确定当前训练元组；并基于所述当前训练元组，确定至少一个训练样本； 分别调用应用评分模型，确定所述至少一个训练样本中各个训练样本对应的应用评分值；并基于所述各个训练样本对应的应用评分值，计算所述应用调节模型的调节模型损失值； 迭代执行所述从所述历史调节数据中确定出当前训练状态向量，直至满足目标模型训练条件，以完成通过所述历史调节数据对所述应用调节模型的模型训练，所述应用调节模型支持用于指导对所述目标离子注入机的束流均匀性调节。

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