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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司关伟明获国家专利权

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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利测试结构及测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119627021B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311171395.7,技术领域涉及:H10P74/00;该发明授权测试结构及测试方法是由关伟明;赵丹洋设计研发完成,并于2023-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

测试结构及测试方法在说明书摘要公布了:一种测试结构及测试方法,结构包括:第一互连结构包括第一梳柄部以及与第一梳柄部电连接的第一梳齿部,第一梳齿部与部分第一金属线相电连接;第二互连结构包括与第一梳柄部相背离的第二梳柄部以及与第二梳柄部电连接的第二梳齿部,第二梳齿部与第一梳齿部相互交叉设置,且第二梳齿部与剩余的第一金属线相电连接;第三互连结构包括将相邻第二金属线构成串联通路的第一互连层,与第二梳柄部位于同侧的第二互连层,以及与第一梳柄部位于同侧的第三互连层,第一互连层与第二金属线电连接,第二互连层与最靠近第二梳柄部的第二金属线电连接,第三互连层与最靠近第一梳柄部的第二金属线电连接。测试结构具备两种测试功能,节约测试结构占用的面积。

本发明授权测试结构及测试方法在权利要求书中公布了:1.一种测试结构,其特征在于,包括: 第一金属线,沿第一方向和第二方向呈矩阵排布,所述第一方向和第二方向相垂直; 第二金属线,所述第二金属线沿所述第一方向延伸且沿所述第二方向间隔平行排布于所述第一金属线的两侧,沿所述第二金属线的延伸方向,所述第二金属线包括首端和末端; 第一互连结构,包括第一梳柄部以及与第一梳柄部电连接的第一梳齿部,所述第一梳齿部位于所述第一金属线和第二金属线的顶部且横跨所述第一金属线和第二金属线,所述第一梳齿部与部分所述第一金属线相电连接,所述第一梳柄部用于作为第一测试信号端; 第二互连结构,包括与所述第一梳柄部相背离的第二梳柄部以及与第二梳柄部电连接的第二梳齿部,所述第二梳齿部位于所述第二金属线和第二金属线的顶部且横跨所述第一金属线和第二金属线,所述第二梳齿部与所述第一梳齿部相互交叉设置,且所述第二梳齿部与剩余的所述第一金属线相电连接,第二梳柄部用于作为第二测试信号端; 第三互连结构,包括将相邻所述第二金属线构成串联通路的第一互连层,所述第一互连层分立设置在所述第二金属线的首端和末端,将相邻所述第二金属线构成串联通路,与所述第二梳柄部位于同侧的第二互连层,以及与所述第一梳柄部位于同侧的第三互连层,所述第一互连层位于相邻所述第二金属线的顶部,且与所述第二金属线电连接,所述第二互连层与最靠近所述第二梳柄部的第二金属线电连接,所述第二互连层用于作为第三测试信号端,所述第三互连层与最靠近所述第一梳柄部的第二金属线电连接,所述第三互连层用于作为第四测试信号端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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