广立微(上海)技术有限公司张飞虎获国家专利权
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龙图腾网获悉广立微(上海)技术有限公司申请的专利电性数据分析方法、装置、晶圆级测试设备和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119441785B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510030922.5,技术领域涉及:G06F18/20;该发明授权电性数据分析方法、装置、晶圆级测试设备和存储介质是由张飞虎;林均铭;王剑设计研发完成,并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本电性数据分析方法、装置、晶圆级测试设备和存储介质在说明书摘要公布了:本申请涉及一种电性数据分析方法、装置、晶圆级测试设备和存储介质。所述方法包括:获取测试目标的电性测试数据;所述电性测试数据的数据属性包括所述测试目标的结构相关属性和测试相关属性;基于所述电性测试数据的结构相关属性和第一判断标准,判断所述测试目标的电性测试数据是否失效,以确定电性失效数据;根据所述电性测试数据的结构相关属性、测试相关属性和第二判断标准,对所述电性失效数据进行类别划分,以确定所述电性失效数据对应的失效模式;基于预设的失效模式与测试问题分类关系,确定所述电性失效数据的失效模式对应的测试问题根因。通过本方法可以提高测试效率。
本发明授权电性数据分析方法、装置、晶圆级测试设备和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种电性数据分析方法,其特征在于,所述方法包括: 获取测试目标的电性测试数据;所述电性测试数据的数据属性包括所述测试目标的结构相关属性和测试相关属性;其中,结构相关属性为与测试目标的结构和特性相关的属性参数,用于表征测试目标的物理特性,测试相关属性为测试目标涉及的测试相关软硬件信息;所述测试相关属性包括测试结构类型、扎针次序、探针卡、测试算法和SMU中的一种或多种; 基于所述电性测试数据的结构相关属性和第一判断标准,判断所述测试目标的电性测试数据是否失效,以确定电性失效数据; 根据所述电性测试数据的结构相关属性、测试相关属性和第二判断标准,对所述电性失效数据进行类别划分,以确定所述电性失效数据对应的失效模式;其中,所述根据所述电性测试数据的结构相关属性、测试相关属性和第二判断标准,对所述电性失效数据进行类别划分,以确定所述电性失效数据对应的失效模式包括:基于所述测试目标的电性测试数据的结构相关属性和测试相关属性,确定所述电性失效数据的测试相关属性中各个测试参数下的测试数据失效率;将所述电性失效数据的测试参数对应的测试数据失效率,分别与预设的失效标准进行比对,根据比对结果确定所述电性失效数据对应的失效模式; 基于预设的失效模式与测试问题分类关系,确定所述电性失效数据的失效模式对应的测试问题根因。
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