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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利适用于激光跟踪仪误差修正的光轴偏角及平移量的测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119164286B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411158691.8，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权适用于激光跟踪仪误差修正的光轴偏角及平移量的测量方法是由潘映伶;纪荣祎;张滋黎;董登峰;王珊;崔成君;王国名;谢子琦;周维虎设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本适用于激光跟踪仪误差修正的光轴偏角及平移量的测量方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种适用于激光跟踪仪误差修正的光轴偏角及平移量的测量方法，包括：激光跟踪仪发射初始激光束，初始激光束出射到位置敏感探测器上形成光斑，光斑的位置具有对应的二维坐标信息；依次将位置敏感探测器放置在离激光跟踪仪的多个不同远近距离处，获取与多个不同远近距离分别对应的正镜测量光路和倒镜测量光路在位置敏感探测器上形成的多对光斑的位置坐标；根据每对光斑的位置坐标，获得每对光斑的位置坐标之间的相对距离；根据多个相对距离以及不同远近距离，获得激光跟踪仪的横轴和竖轴的交点与正镜测量光路和倒镜测量光路的交点的相对位置关系以及适用于激光跟踪仪误差修正的光轴偏角以及平移量。

本发明授权适用于激光跟踪仪误差修正的光轴偏角及平移量的测量方法在权利要求书中公布了：1.一种适用于激光跟踪仪误差修正的光轴偏角及平移量的测量方法，其中，包括： 所述激光跟踪仪发射初始激光束，所述初始激光束出射到位置敏感探测器上形成光斑，所述光斑的位置具有对应的二维坐标信息； 调整所述激光跟踪仪的方位和俯仰角度为正镜模式，此时所述初始激光束传输的路径形成正镜测量光路；调整所述激光跟踪仪的方位和俯仰角度为倒镜模式，此时所述初始激光束传输的路径形成倒镜测量光路； 依次将所述位置敏感探测器放置在离所述激光跟踪仪的多个不同远近距离处，获取与多个所述不同远近距离分别对应的所述正镜测量光路和所述倒镜测量光路在所述位置敏感探测器上形成的多对光斑的位置坐标； 根据每对所述光斑的位置坐标，获得每对所述光斑的位置坐标之间的相对距离； 根据多个所述相对距离，获得基于多个所述相对距离的判定值的正负情况；以及 根据所述判定值的正负情况，确定所述激光跟踪仪的横轴和竖轴的交点与所述正镜测量光路和所述倒镜测量光路的交点的距离、所述激光跟踪仪的光轴偏角以及平移量的求解公式，从而获得所述光轴偏角以及平移； 其中，每对所述光斑的位置坐标为{xa，ya，xb，yb}，则每对所述光斑的位置坐标之间的相对距离D满足公式1： 1； 多个所述不同远近距离包括按照由近到远依次排列的第一距离L1、第二距离L1’、第三距离L2以及第四距离L2’；多个所述相对距离包括第一相对距离D1、第二相对距离D1’、第三相对距离D2以及第四相对距离D2’； 所述判定值为第一相对距离D1与第二相对距离D1’的差值与第三相对距离D2与第四相对距离D2’的差值的乘积的值，所述判定值满足公式：D1-D1’D2-D2’。

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