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龙图腾网获悉江苏虎虎机电科技有限公司申请的专利一种半导体芯片加工用高纯气体输送系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117847430B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311840669.7，技术领域涉及：F17D1/07；该发明授权一种半导体芯片加工用高纯气体输送系统及方法是由陈胜前设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体芯片加工用高纯气体输送系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体芯片加工用高纯气体输送系统及方法，包括用于安装固定的基础安装机构和储气的气罐本体，所述基础安装机构的右侧安装有用于传输清理的过滤自清机构，所述基础安装机构包括工作平台，所述工作平台顶部的左侧固定连接有弧形安装座，且弧形安装座设置有若干个；通过将基础安装机构和过滤自清机构进行组合式使用，这两个机构的设置能够在气体用完后直接对气罐本体进行更换，既避免了气体的混合同时能够提高使用效率，并且在气罐本体安装后能够利用本身的重量对支撑柱进行限位固定，同时气体流动时还能够让卡接长条与对接卡口对接将弧形夹持板固定。

本发明授权一种半导体芯片加工用高纯气体输送系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体芯片加工用高纯气体输送系统，包括用于安装固定的基础安装机构1和储气的气罐本体3，其特征在于：所述基础安装机构1的右侧安装有用于传输清理的过滤自清机构2； 所述基础安装机构1包括工作平台101，所述工作平台101顶部的右侧通过固定板固定连接有增压气泵127， 所述过滤自清机构2包括主输气管201，且主输气管201通过固定板固定安装于工作平台101的右侧，且主输气管201和增压气泵127之间连通有第二导气管210，所述主输气管201的右端固定安装有过滤封堵框202； 所述主输气管201内壁的右侧通过固定块固定连接有环形导滑框203，且环形导滑框203的内侧放置有旋转杆204，且旋转杆204的右端固定连接有与过滤封堵框202相配合使用的清扫板205，所述环形导滑框203的左侧固定连接有多角插筒206，所述旋转杆204表面的左侧固定连接有与多角插筒206相配合使用的多角插杆207，所述环形导滑框203和多角插杆207之间固定连接有第四弹簧209，所述旋转杆204的左端固定连接有导风叶片208。

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