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龙图腾网获悉中科晶源微电子技术(北京)有限公司申请的专利移动光阑获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117423594B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311190021.X，技术领域涉及：H01J37/09；该发明授权移动光阑是由米涛设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本移动光阑在说明书摘要公布了：本申请属于半导体检测设备技术领域，尤其是涉及一种移动光阑。该移动光阑包括光阑组件、热传导件以及感温件；光阑组件包括光阑，热传导件及感温件均连接于光阑组件；感温件设置为用于获取光阑的温度，热传导件设置为基于感温件获取到的温度调节光阑的温度。可见，通过热传导件及感温件配合具有温度控制功能的模块以实现闭环控制，使得光阑处于合适温度，以加热挥发颗粒，有效防止因积碳造成光阑孔变形甚至堵塞。

本发明授权移动光阑在权利要求书中公布了：1.一种移动光阑，其特征在于，所述移动光阑包括光阑组件、热传导件、感温件以及位置调节总成； 所述光阑组件包括光阑和固定架，所述光阑、所述热传导件及所述感温件均连接于所述光阑组件的固定架，所述光阑组件连接于所述位置调节总成，所述位置调节总成用于调节所述光阑组件的位置； 所述热传导件通过加热所述固定架以升温所述光阑，所述感温件设置为用于获取所述光阑的温度，所述热传导件设置为基于所述感温件获取到的温度调节所述光阑的温度； 所述位置调节总成包括支撑架、导向杆以及驱动模组，所述驱动模组连接于所述支撑架，所述导向杆沿第一方向穿过所述支撑架并连接于所述驱动模组，所述光阑组件连接于所述导向杆且位于所述支撑架在所述第一方向上远离所述驱动模组的一侧； 所述驱动模组包括第一驱动模组以及第二驱动模组，所述第一驱动模组包括导向座与第一弹性件，所述第二驱动模组包括第二动力构件、活动架及第二弹性件； 所述第一弹性件布置于所述支撑架在第二方向的两侧，所述第一弹性件沿所述第一方向延伸且一端连接于所述导向座、另一端连接于所述支撑架；所述第二弹性件沿所述第二方向延伸且夹设于所述活动架与所述第二动力构件之间；所述第一方向垂直于所述第二方向。

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