鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司夏炜炜获国家专利权
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龙图腾网获悉鑫睿炜半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种卧式晶圆甩干机的晶圆承载器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124562U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520777973.X，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种卧式晶圆甩干机的晶圆承载器是由夏炜炜;潘芹设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种卧式晶圆甩干机的晶圆承载器在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种卧式晶圆甩干机的晶圆承载器，包括外转盘的圆心位于转轴线上，内转盘转动在外转盘上面，内转盘的轴心线与外转盘的轴心线重合；若干外固定杆安装在外转盘上，若干内固定杆安装在内转盘上，当甩干晶圆时，对每一内固定杆和对应的两个外固定杆分布在同一等腰三角形上，且内固定杆位于等腰三角形的顶角上，内固定杆和两个外固定杆上对应的三个插座共同用于固定同一个晶圆。本实用新型产品优化现有的支架机构，本实用新型产品主要由外固定杆和内固定杆及其匹配的插座组成，结构较少，且能够组成稳定的三角形机构，进而可以稳固的支撑晶圆，且遮挡晶圆部分较少，这样晶圆在清洗和干燥的时候，能够快速甩干。
本实用新型一种卧式晶圆甩干机的晶圆承载器在权利要求书中公布了：1.一种卧式晶圆甩干机的晶圆承载器，其特征在于：包括： 外转盘，所述外转盘的圆心位于转轴线上； 内转盘，所述内转盘转动在外转盘上，所述内转盘的轴心线与外转盘的轴心线重合； 若干外固定杆，若干所述外固定杆设置在外转盘上，若干所述外固定杆沿外转盘圆周线等距均匀分布； 若干内固定杆，若干所述内固定杆设置在内转盘上，若干所述内固定杆沿内转盘圆周线等距均匀分布； 所述外固定杆的数量是所述内固定杆的双倍，每一所述外固定杆和每一所述内固定杆上均设有插座，每一内固定杆和两个外固定杆设置为一组； 当甩干晶圆时，对每一内固定杆和对应的两个外固定杆分布在同一等腰三角形上，且内固定杆位于等腰三角形的顶角上，所述内固定杆和两个外固定杆上对应的三个插座共同用于固定同一个晶圆。
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