允哲半导体科技(浙江)有限公司范亚飞获国家专利权
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龙图腾网获悉允哲半导体科技(浙江)有限公司申请的专利一种双腔体共用高压泵的晶圆清洗机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124544U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521094850.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种双腔体共用高压泵的晶圆清洗机是由范亚飞;叶家焱;胡俊谊设计研发完成，并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双腔体共用高压泵的晶圆清洗机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种双腔体共用高压泵的晶圆清洗机，包括两个独立的清洗腔体和高压泵，高压泵的进气端通过三通接头连接两路高压气路，第一高压气路上设有第一气压调压阀和第一气路电磁阀，第二高压气路上设有第二气压调压阀和第二气路电磁阀；所述高压泵的出水端连接两路喷淋水路，喷淋水路上各设有一高压水电磁阀，两路喷淋水路各自连接一清洗腔体内的喷头；所述第一气压调压阀的出口气压匹配单个清洗腔体工作，第二气压调压阀的出口气压匹配两个清洗腔体工作。本实用新型利用单一高压泵来控制两个单独清洗腔体进行晶圆清洗作业，高压泵适配单个清洗腔体独立工作或两个清洗腔体同时工作，从而可减少安装空间，降低安装成本。
本实用新型一种双腔体共用高压泵的晶圆清洗机在权利要求书中公布了：1.一种双腔体共用高压泵的晶圆清洗机，其特征在于：包括两个独立的清洗腔体和高压泵，高压泵的进气端通过三通接头连接两路高压气路，第一高压气路上设有第一气压调压阀和第一气路电磁阀，第二高压气路上设有第二气压调压阀和第二气路电磁阀；所述高压泵的出水端连接两路喷淋水路，喷淋水路上各设有一高压水电磁阀，两路喷淋水路各自连接一清洗腔体内的喷头；所述第一气压调压阀的出口气压匹配单个清洗腔体工作，第二气压调压阀的出口气压匹配两个清洗腔体工作。
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