江苏山水半导体科技有限公司李星获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏山水半导体科技有限公司申请的专利一种芯片生产用浸蚀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124537U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520858603.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种芯片生产用浸蚀装置是由李星;李仕权;王辰伟;雷双双;刘飞设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片生产用浸蚀装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种芯片生产用浸蚀装置，包括浸蚀箱，所述浸蚀箱的外壁固定连接有防护框，所述防护框的内部固定连接有蠕动泵与隔板，所述隔板的顶部固定连接有气泵，所述浸蚀箱的外壁固定连接有竖框，所述竖框的内部固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆输出端的顶部固定连接有空心结构的连接件，所述连接件的一端固定连接有升降板，所述升降板的底部固定连接有两个加强杆。本实用新型通过蠕动泵驱动浸蚀溶液HF在循环管内持续流动，结合晶圆的上下往复运动，避免局部浓度梯度，确保反应均匀性，气泵注入空气形成高压环境，加速气泡破裂与逸出，减少晶圆表面气泡附着导致的刻蚀缺陷。
本实用新型一种芯片生产用浸蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种芯片生产用浸蚀装置，包括浸蚀箱1，其特征在于，所述浸蚀箱1的外壁固定连接有防护框2，所述防护框2的内部固定连接有蠕动泵3与隔板4，所述隔板4的顶部固定连接有气泵5，所述浸蚀箱1的外壁固定连接有竖框8，所述竖框8的内部固定连接有第一电动推杆9，所述第一电动推杆9输出端的顶部固定连接有空心结构的连接件10，所述连接件10的一端固定连接有升降板11，所述升降板11的底部固定连接有两个加强杆12，两个加强杆12的底部固定连接有同一个密封盖板13，所述升降板11的底部固定连接有第二电动推杆14，所述第二电动推杆14输出端的底部固定连接有对接板15，所述对接板15的外壁设有放置组件。
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