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龙图腾网获悉杰莱特(苏州)精密仪器有限公司申请的专利一种安全切换靶材电源的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224123900U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520637796.5，技术领域涉及：H02J4/00；该实用新型一种安全切换靶材电源的装置是由罗凯;卢人杰设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种安全切换靶材电源的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种安全切换靶材电源的装置，属于靶材电源切换技术领域，尤其适用于射频RF与直流DC电源的自动切换控制。该装置通过气缸组件驱动靶材与不同电源接口的物理连接，结合PLC控制器编程逻辑协调直流接触器与射频接触器的通断动作，实现电源模式的自动切换。其中，机械互锁机构通过限位开关反馈靶材到位信号，电气互锁电路利用接触器的常闭触点形成硬件级互锁，确保DC电源与RF电源不同时导通。此外，状态监测单元实时采集接触器状态及电流数据，异常时触发紧急断电保护。本实用新型解决了传统手动切换的安全隐患与效率低下问题，具有操作安全、切换高效、运行稳定等优点，可广泛应用于真空镀膜、半导体加工等领域。

本实用新型一种安全切换靶材电源的装置在权利要求书中公布了：1.一种安全切换靶材电源的装置，包括气缸组件、直流接触器、射频接触器、PLC控制器、电磁阀、机械互锁机构、电气互锁电路及状态监测单元，其特征在于： 所述气缸组件通过活塞杆的直线运动驱动靶材支架，使靶材与直流电源接口或射频电源接口物理连接； 所述直流接触器和射频接触器分别串联于直流电源回路和射频电源回路中，用于控制对应电源的通断； 所述PLC控制器内置互锁逻辑程序，通过输出端口连接直流接触器和射频接触器的控制线圈，并发送指令至电磁阀； 所述电磁阀接收PLC控制器的信号以切换气路方向，驱动气缸组件的活塞杆运动； 所述机械互锁机构包括两个限位开关，分别固定于气缸行程的两端，当靶材支架移动至直流电源接口或射频电源接口的预设位置时，触发对应的限位开关，生成到位信号并反馈至PLC控制器； 所述电气互锁电路中，直流接触器的常闭触点与射频接触器的控制线圈串联，射频接触器的常闭触点与直流接触器的控制线圈串联，形成物理隔离的双向互锁，确保直流电源与射频电源无法同时导通； 所述状态监测单元实时采集接触器的辅助触点信号及电流传感器数据，异常时触发紧急断电继电器切断总电源。

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