买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种晶圆卡盘清洗系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224123341U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520147343.4，技术领域涉及：H01J37/244；该实用新型一种晶圆卡盘清洗系统是由亓兆林;周祖源;薛兴涛设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆卡盘清洗系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆卡盘清洗系统，晶圆卡盘清洗系统包括晶圆卡盘检测装置以及与晶圆卡盘检测装置通信连接的清洗系统；晶圆卡盘检测装置包括：扫描模块，设置于工艺腔室的外侧壁，在工艺腔室的轴向上，扫描模块位于晶圆卡盘的上方；扫描模块设置为向晶圆卡盘发射激光束，并接收来自晶圆卡盘散射的散射光束，以根据散射光束信息获得晶圆卡盘上的残留颗粒的颗粒信息；主机台，设置于工艺腔室的外部，与扫描模块通信连接，主机台设置为用于接收扫描模块的颗粒信息，并根据颗粒信息以及设定规则发出警报。通过扫描模块可精准的检测晶圆卡盘的颗粒数量，实现实时监控。

本实用新型一种晶圆卡盘清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆卡盘清洗系统，所述晶圆卡盘设置于工艺腔室内，用于承载晶圆，其特征在于，所述晶圆卡盘清洗系统包括晶圆卡盘检测装置以及与所述晶圆卡盘检测装置通信连接的清洗系统；所述晶圆卡盘检测装置包括： 扫描模块，设置于所述工艺腔室的外侧壁，在所述工艺腔室的轴向上，所述扫描模块位于所述晶圆卡盘的上方；所述扫描模块设置为向所述晶圆卡盘发射激光束，并接收来自所述晶圆卡盘散射的散射光束，以根据所述散射光束信息获得所述晶圆卡盘上的残留颗粒的颗粒信息；隔离阀，设置于所述工艺腔室与所述扫描模块之间以隔离所述扫描模块和所述工艺腔室，所述工艺腔室的侧壁上设置有开口，所述隔离阀密封安装至所述开口，所述扫描模块与所述隔离阀密封连接； 其中，所述扫描模块包括：激光发射单元，设置于所述扫描模块靠近所述工艺腔室的一侧，所述激光发射单元向所述晶圆卡盘发射激光束；模数转换单元，与所述激光发射单元并列设置于扫描模块靠近所述工艺腔室的一侧，所述模数转换单元接收来自所述晶圆卡盘的所述散射光束，且所述扫描模块距离所述工艺腔室顶端的距离小于所述工艺腔室高度的13； 主机台，设置于所述工艺腔室的外部，与所述扫描模块通信连接，所述主机台设置有比较模块，当所述颗粒数量大于预设数量，且颗粒大小超过预设大小时，所述比较模块判定为重度污染；当所述颗粒数量小于预设数量，且颗粒大小小于预设大小时，所述比较模块判定为轻度污染；所述主机台设置为用于接收所述扫描模块的所述颗粒信息，并根据所述颗粒信息以及设定规则发出警报。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛合晶微半导体(江阴)有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。