青岛联智光通信技术有限公司赵海轮获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛联智光通信技术有限公司申请的专利一种套刻对准件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224122886U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521182902.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种套刻对准件是由赵海轮;魏书恒;李善文设计研发完成，并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种套刻对准件在说明书摘要公布了：本公开提供了一种套刻对准件，套刻对准件包括套刻对准本体和通气孔，套刻对准本体的顶面向内凹陷形成承载槽，承载槽与通气孔相连通。承载槽包括承载区和通气轨道，通气轨道与通气孔相连通，承载区用于承载第一晶圆，第一晶圆包括主解理边和副解理边。承载区与套刻对准本体的顶面之间的距离小于通气轨道的底部与套刻对准本体的顶面之间的距离。承载槽包括第一对准侧壁和第二对准侧壁，第一对准侧壁与主解理边对应设置，第二对准侧壁与副解理边对应设置。当将套刻对准件与掩模版进行对准操作时，只需将承载槽的第一对准侧壁与掩模版的横向边对齐，即可实现第一晶圆的主解理边与掩模版横向的平行对齐，极大地提高了对准的精度和效率。
本实用新型一种套刻对准件在权利要求书中公布了：1.一种套刻对准件，其特征在于，包括： 套刻对准本体； 通气孔，由所述套刻对准本体的顶面向下延伸到所述套刻对准本体的底面； 所述套刻对准本体的顶面向内凹陷形成： 承载槽，与所述通气孔相连通； 所述承载槽包括： 承载区，用于承载第一晶圆；所述第一晶圆包括主解理边和副解理边； 通气轨道，与所述通气孔相连通；所述承载区与所述套刻对准本体的顶面之间的距离小于所述通气轨道与所述套刻对准本体的顶面之间的距离； 第一对准侧壁，沿着所述套刻对准本体的宽度方向水平设置，与所述主解理边对应设置； 第二对准侧壁，沿着所述套刻对准本体的长度方向竖直设置，与所述副解理边对应设置。
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