上海芯上微装科技股份有限公司马良丰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯上微装科技股份有限公司申请的专利一种掩膜版抓放定位机构及曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224122885U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521161982.2，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种掩膜版抓放定位机构及曝光设备是由马良丰;张荣军;刘凯设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版抓放定位机构及曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种掩膜版抓放定位机构及曝光设备，掩膜版抓放定位机构包括版叉本体和定位组件；版叉本体包括预设表面；定位组件包括定位部和驱动部，定位部可活动地设于预设表面，驱动部与定位部连接以驱使定位部移动；定位组件的数量为四个，其中两个为X向定位组件、另外两个为Y向定位组件；两个X向定位组件沿X方向排布，X向定位组件的定位部的移动方向为X方向；两个Y向定位组件沿Y方向排布，且Y向定位组件的定位部的移动方向为Y方向；Y方向与X方向垂直，且两个X向定位组件的连线与两个Y向定位组件的连线相交。通过四个定位组件的配合能够实现掩膜版的抓取与释放。
本实用新型一种掩膜版抓放定位机构及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版抓放定位机构，其特征在于，包括： 版叉本体，具有预设表面；以及， 定位组件，包括定位部和驱动部；所述定位部可活动地设置在所述预设表面上，所述驱动部与所述定位部连接，并被配置用于驱使所述定位部移动； 所述定位组件的数量为四个，其中两个为X向定位组件、另外两个为Y向定位组件；两个所述X向定位组件沿X方向排布，所述X向定位组件的所述定位部的移动方向为所述X方向；两个所述Y向定位组件沿Y方向排布，所述Y向定位组件的所述定位部的移动方向为所述Y方向； 所述Y方向与所述X方向垂直，且两个所述X向定位组件的连线与两个所述Y向定位组件的连线相交。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海芯上微装科技股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路498号8幢19号楼3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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