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龙图腾网获悉江苏鸣志微电子科技有限公司申请的专利一种用于曝光机的非接触式的五点调平机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224122884U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521065964.4，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于曝光机的非接触式的五点调平机构是由王焕之;路明;路平;殷大晨设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于曝光机的非接触式的五点调平机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于曝光机的非接触式的五点调平机构，涉及曝光机调平技术领域，而本实用新型包括曝光机主体、工作台和激光测距传感器，所述激光测距传感器设有均匀分布的五个，工作台安装在曝光机主体的上部一侧，曝光机主体的上部一侧设有用于对工作台进行检测并调平的调整机构，调整机构包括：安装组件，包括设置在固定组件下方的万向阻尼球头支架，本申请能够万向万向阻尼球头支架安装激光测距传感器通过五点对工作台面平整度进行检测，解决了现有使用传统机械工具对工作台进行调平时效率较低且容易对工作台面产生磨损问题，同时通过微型电机驱动螺杆带动顶板升降对工作台面进行平整度的调整，加快了对工作台的调平效率。

本实用新型一种用于曝光机的非接触式的五点调平机构在权利要求书中公布了：1.一种用于曝光机的非接触式的五点调平机构，包括曝光机主体1、工作台11和激光测距传感器3，其特征在于：所述激光测距传感器3设有均匀分布的五个，工作台11安装在曝光机主体1的上部一侧，曝光机主体1的上部一侧设有用于对工作台11进行检测并调平的调整机构2，调整机构2包括： 安装组件21，包括设置在固定组件23下方的万向阻尼球头支架211，万向阻尼球头支架211设有均匀分布的五个，五个万向阻尼球头支架211的底端均固定安装有安装块212，五个安装块212的下部均滑动卡设有两个对称分布的夹持板219，五个激光测距传感器3均与夹持板219的一侧相互接触； 调节组件22，包括固定安装在工作台11底端的支撑板221，支撑板221的顶端固定安装有五个均匀分布的微型电机222，五个微型电机222的顶端均设有螺杆223，五个螺杆223的底端均固定安装在微型电机222的驱动端，工作台11的底端可拆卸安装有五个均匀分布的顶板224，五个螺杆223的上部均螺纹安装顶板224的底端中部； 固定组件23，设置在曝光机主体1的上部一侧用于对安装组件21的支撑安装。

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