无锡宇通机电设备有限公司金林峰获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡宇通机电设备有限公司申请的专利一种晶圆扫描装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224122766U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521003527.X，技术领域涉及：G01V8/12；该实用新型一种晶圆扫描装置是由金林峰;马慧红;刘洪贤设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆扫描装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆扫描装置，包括反射传感器、反射板，反射传感器能够接收反射板反射出来的信号；接口T1至接口T4用于将反射传感器的信号IN‑1至信号IN‑4输送到芯片U1；接口P1用于将芯片U1的信号OUT‑1和信号OUT‑2发送到设备的原始接口，接口P4用于将芯片U1的信号OUT‑3和信号OUT‑4发送到设备的原始接口。本实用新型适用于刻蚀、薄膜淀积等设备，采用反射传感器和专门的处理电路，可以处理Si、SiC等不同材料的晶圆，调整简单，成本低，稳定性强。
本实用新型一种晶圆扫描装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆扫描装置，其特征在于：包括反射传感器、反射板，所述反射传感器能够接收所述反射板反射出来的信号，并生成信号IN-1至信号IN-4；还包括芯片U1、接口T1至接口T4、接口P1和接口P4； 所述芯片U1的输入端分别连接所述接口T1至接口T4，所述接口T1至接口T4均连接至所述反射传感器，其中，所述接口T1至接口T4用于将所述反射传感器的信号IN-1至信号IN-4输送到所述芯片U1； 所述芯片U1的输出端分别连接所述接口P1和所述接口P4，所述接口P1和所述接口P4均连接至设备的原始接口，其中，所述接口P1用于将所述芯片U1的信号OUT-1和信号OUT-2发送到设备的原始接口，所述接口P4用于将所述芯片U1的信号OUT-3和信号OUT-4发送到设备的原始接口。
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