科睿迅(南通)材料科技有限公司姚卫军获国家专利权
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龙图腾网获悉科睿迅(南通)材料科技有限公司申请的专利晶圆清洗刷检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224122436U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520344329.3,技术领域涉及:G01N21/01;该实用新型晶圆清洗刷检测装置是由姚卫军;李晓成;王齐;刘嘉妮设计研发完成,并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆清洗刷检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了晶圆清洗刷检测装置,包括设置在检测台上的夹定机构、旋调机构、显微机构和成像机构。夹定机构的一端或两端可以滑动,旋调机构对夹定机构的安装位进行干预调整,显微机构对后续检测的晶圆清洗刷表面进行捕捉并通过成像机构放大显示。本实用新型通过可滑移旋转的夹取机构和可滑移升降的显微机构来适配绝大部分尺寸、类型的晶圆清洗刷,并提高检测的精度和强度,充分筛除不合格的晶圆清洗刷,有利于保证晶圆刷洗工艺的完成,提高晶圆产品的质量。
本实用新型晶圆清洗刷检测装置在权利要求书中公布了:1.晶圆清洗刷检测装置,包括检测台10,其特征在于:所述检测台10上设有夹定不同尺寸晶圆清洗刷60的夹定机构20,所述夹定机构20至少一端与所述检测台10滑动连接,所述夹定机构20上设有转动所述晶圆清洗刷60的旋调机构30,所述夹定机构20的两端分别设有显微机构40和成像机构50,所述显微机构40与所述成像机构50电连接,所述显微机构40与所述检测台10滑动连接。
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