华海清科股份有限公司杨晓良获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利排风装置、排风系统及晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224115953U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520676119.4，技术领域涉及：B24B55/06；该实用新型排风装置、排风系统及晶圆加工设备是由杨晓良;马旭;赵四化设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本排风装置、排风系统及晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种排风装置、排风系统和晶圆加工设备。排风装置的两端分别流体连接到晶圆加工设备的加工腔和晶圆加工设备外部的风道，排风装置包括：第一排风管，其侧壁处开设有连通孔；支路管，设置在第一排风管的连通孔处并经由连通孔与第一排风管流体连通，支路管配置成与风压检测器连接；第二排风管，其至少部分地嵌套在第一排风管中，第二排风管的侧壁至少覆盖连通孔，在连通孔处第二排风管的侧壁与第一排风管的侧壁之间具有缓冲间隙，以避免气流携带加工粉尘冲击到支路管中。根据本申请的技术方案，显著降低了支路管处的气流速度，有效阻止了涡流产生，避免了支路管和测压气管的粉尘淤积。
本实用新型排风装置、排风系统及晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种排风装置，用于晶圆加工设备的排风系统，其特征在于，所述排风装置的两端分别流体连接到所述晶圆加工设备的加工腔和所述晶圆加工设备外部的风道，所述排风装置包括： 第一排风管，其侧壁处开设有连通孔； 支路管，所述支路管设置在所述第一排风管的连通孔处并经由所述连通孔与所述第一排风管流体连通，所述支路管配置成与风压检测器连接； 第二排风管，所述第二排风管至少部分地嵌套在所述第一排风管中，所述第二排风管的侧壁至少覆盖所述连通孔，在所述连通孔处所述第二排风管的侧壁与所述第一排风管的侧壁之间具有缓冲间隙，以避免气流携带加工粉尘冲击到所述支路管中。
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