宁波龙翔半导体材料有限公司林翔获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波龙翔半导体材料有限公司申请的专利一种用于碳化硅晶圆外径加工的针石砂轮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224115925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520606344.0,技术领域涉及:B24B41/04;该实用新型一种用于碳化硅晶圆外径加工的针石砂轮是由林翔设计研发完成,并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于碳化硅晶圆外径加工的针石砂轮在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于碳化硅晶圆外径加工的针石砂轮,该砂轮主要由传动轴、主轴、固定夹具、磨砂盘等构成,固定夹具通过上夹具和下夹具稳固夹持磨砂盘,确保其在加工时的稳定性,主轴通过安装座和安装底座固定,利用销钉连接保证稳固性,同时安装座与固定夹具通过限位结构实现精准定位,多个固定夹具内的磨砂盘目数依次增加,可满足不同加工需求,上、下夹具通过螺栓、插接筒等方式紧密连接,且通过嵌槽与嵌套件嵌套连接磨砂盘,并设置缓冲垫片增强保护,此外,磨砂盘设有内弧槽和排屑孔,利于排屑,本针石砂轮结构设计合理,能有效提升碳化硅晶圆外径加工的精度、稳定性及排屑性能,具有良好的应用前景。
本实用新型一种用于碳化硅晶圆外径加工的针石砂轮在权利要求书中公布了:1.一种用于碳化硅晶圆外径加工的针石砂轮,包括传动轴1; 所述传动轴1顶部位置处设置有主轴7,所述主轴7内部位置处设置有固定夹具4,所述固定夹具4内部位置处设置有磨砂盘3; 其特征在于:所述固定夹具4顶部位置处设置有上夹具9,所述上夹具9底部位置处设置有下夹具10,所述磨砂盘3通过上夹具9及下夹具10夹持固定。
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