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江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利对刀仪和晶圆减薄装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224115920U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520850346.4,技术领域涉及:B24B41/00;该实用新型对刀仪和晶圆减薄装置是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。

对刀仪和晶圆减薄装置在说明书摘要公布了:本申请的实施例提供了一种对刀仪和晶圆减薄装置,涉及晶圆加工的技术领域。对刀仪包括喷气嘴组件、第一导气管和传感器。喷气嘴组件包括喷气嘴、连接件和驱动装置。连接件连接喷气嘴和驱动装置,驱动装置驱动连接件运动,连接件带动喷气嘴运动。连接件包括本体部和移动部,在移动部受到沿第一方向的作用力时能够带动喷气嘴沿第一方向运动。第一导气管与喷气嘴连接,传感器设置在第一导气管上,用于检测第一导气管内气体的压强。本申请的实施例能够通过第一导气管内气体的压强确定喷气嘴和台盘之间的距离,从而能够得到磨轮和台盘之间的距离,实现无接触对刀,不会发生对刀仪和台盘磕碰导致对刀仪和台盘损坏的情况。

本实用新型对刀仪和晶圆减薄装置在权利要求书中公布了:1.一种对刀仪,用于对晶圆减薄装置的磨轮进行对刀,其特征在于,所述对刀仪包括: 喷气嘴组件,包括喷气嘴、连接件和驱动装置;所述连接件连接所述喷气嘴和所述驱动装置,所述驱动装置驱动所述连接件运动,所述连接件带动所述喷气嘴在第一位置和第二位置之间运动;所述连接件包括本体部和移动部,所述喷气嘴通过所述移动部与所述本体部相连;在所述移动部受到沿第一方向的作用力时能够在所述第一方向上运动,以带动所述喷气嘴沿所述第一方向运动; 第一导气管,与所述喷气嘴连接,所述第一导气管用于连接气源以向所述喷气嘴供气;以及, 传感器,设置在所述第一导气管上,用于检测所述第一导气管内气体的压强。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区长江南路25号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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