江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种化学机械抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224115913U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421529913.8，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型一种化学机械抛光设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种化学机械抛光设备，该设备包括：前置单元，前置单元用于待抛光件的检出；传输机构，传输机构包括第一六轴机械手，第一六轴机械手包括第一旋转座、转动连接于第一旋转座的第一六连杆组件，第一六连杆组件可进行伸缩运动和或俯仰运动；抛光单元，第一六轴机械手用于向抛光单元传输待抛光件，抛光单元用于抛光待抛光件，以使待抛光件成为已抛光件；清洗单元，第一六轴机械手还用于向清洗单元传输已抛光件，清洗单元用于清洗已抛光件；前置单元还用于清洗后的已抛光件的检入。本申请有利于使设备中的各单元实现紧凑布局。
本实用新型一种化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括： 前置单元，所述前置单元用于待抛光件的检出； 传输机构，所述传输机构包括第一六轴机械手，所述第一六轴机械手包括第一旋转座、转动连接于所述第一旋转座的第一六连杆组件，所述第一六连杆组件可进行伸缩运动和或俯仰运动； 抛光单元，所述第一六轴机械手用于向所述抛光单元传输检出的所述待抛光件，所述抛光单元用于抛光所述待抛光件，以使所述待抛光件成为已抛光件； 清洗单元，所述第一六轴机械手还用于向所述清洗单元传输所述已抛光件，所述清洗单元用于清洗所述已抛光件，所述前置单元还用于清洗后的所述已抛光件的检入。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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