济南光微半导体科技有限公司单佩获国家专利权
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龙图腾网获悉济南光微半导体科技有限公司申请的专利石英基板单面抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224115889U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520408220.1，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型石英基板单面抛光装置是由单佩;李明骏;黄芸;杜加宝;孙世轩;芦可可;白雨晨设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本石英基板单面抛光装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种石英基板单面抛光装置，属于石英基板件加工技术领域。石英基板单面抛光装置包括:游星轮本体上形成有隔圈孔；隔圈本体，设置于隔圈孔中，隔圈本体上形成有适于放置石英基板的镂空区；抛光盘，贴合于石英基板的抛光面；压力板，设置于石英基板的非抛光侧，嵌设于镂空区；吸附垫，设置于石英基板与压力板之间，吸附垫抵接于石英基板的非抛光面，压力板适于向吸附垫施加压力。本申请提供的石英基板单面抛光装置，可以对石英基板抛光面上的特定区域进行局部加压式抛光，显著减少表面缺陷，提高抛光一致性。
本实用新型石英基板单面抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种石英基板单面抛光装置，其特征在于，包括: 游星轮本体，所述游星轮本体上形成有隔圈孔； 隔圈本体，设置于所述隔圈孔中，所述隔圈本体上形成有适于放置石英基板的镂空区； 抛光盘，贴合于所述石英基板的抛光面； 压力板，设置于所述石英基板的非抛光侧，嵌设于所述镂空区； 吸附垫，设置于所述石英基板与所述压力板之间，所述吸附垫抵接于所述石英基板的非抛光面，所述压力板适于向所述吸附垫施加压力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人济南光微半导体科技有限公司，其通讯地址为：250100 山东省济南市高新区临港街道机场路7617号西楼218-04-66号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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