深圳市新斯锴科技有限公司涂一新获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新斯锴科技有限公司申请的专利一种MASK光罩表面颗粒物去除装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224114762U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520935982.7,技术领域涉及:B08B5/02;该实用新型一种MASK光罩表面颗粒物去除装置是由涂一新;张先华设计研发完成,并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MASK光罩表面颗粒物去除装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种MASK光罩表面颗粒物去除装置,包括底座,所述底座上固定设有支撑架,所述支撑架上连接设有调节臂,所述调节臂顶端连接设有安装板,所述安装板上固定设有喷头,所述喷头顶端设置有调流机构,所述调流机构包括安装套、滑槽、滑块、挡板、连接板、调节套和外接管,调流机构采用多挡板联动调节设计,通过滑块与滑槽的配合实现挡板的同步开合,可根据不同粒径的颗粒物需求精确调节气流通道截面积,解决了传统装置无法精细控制气流量的痛点。
本实用新型一种MASK光罩表面颗粒物去除装置在权利要求书中公布了:1.一种MASK光罩表面颗粒物去除装置,包括底座1,其特征是:所述底座1上固定设有支撑架2,所述支撑架2上连接设有调节臂3,所述调节臂3顶端连接设有安装板4,所述安装板4上固定设有喷头5,所述喷头5顶端设置有调流机构,所述调流机构包括安装套6、滑槽7、滑块8、挡板9、连接板10、调节套11和外接管12,安装套6连接在喷头5顶端,滑槽7设置有多组分布在安装套6内侧,滑块8滑动在多组滑槽7内,挡板9固定在多组滑块8内侧,连接板10连接在多组挡板9外壁,调节套11滑动在安装套6内且与多组弹性板固定连接,外接管12连接在调节套11内。
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