赣州华辰电子科技有限公司赵传军获国家专利权
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龙图腾网获悉赣州华辰电子科技有限公司申请的专利一种TFT阵列基板清洗槽获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224114716U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521342566.2,技术领域涉及:B08B3/04;该实用新型一种TFT阵列基板清洗槽是由赵传军;陈桂加设计研发完成,并于2025-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种TFT阵列基板清洗槽在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种清洗槽,提供了这样一种TFT阵列基板清洗槽,包括有设备外防护、水槽和隔板等;设备外防护前后两侧均开有多个视窗,设备外防护上部开有横向缺槽,缺槽用于外部传料部件携带物料横向移动经过,设备外防护内横向设有水槽,水槽内间隔设有两个隔板,通过两个隔板将水槽内部空间分割成横向排列的三个清洗槽。本实用新型采用预洗槽、主清洗槽及漂洗槽的分段式结构,并令各槽内液体与物料移动方向形成逆流清洗路径,配合水槽下部超声波模块的高频振动,实现高效清洗,避免传统喷淋式压力不均的边缘清洗盲区;分段工序逐步降低污染物浓度,超声波空化效应瓦解顽固颗粒,解决浸泡式药剂浓度梯度问题;使基板洁净度满足制程要求,较常规方式显著提高良率并缩短清洗周期。
本实用新型一种TFT阵列基板清洗槽在权利要求书中公布了:1.一种TFT阵列基板清洗槽,包括有设备外防护1,设备外防护1前后两侧均开有多个视窗,设备外防护1上部开有横向缺槽,缺槽用于外部传料部件携带物料横向移动经过; 其特征在于,还包括有水槽2、隔板3、预洗槽301、主清洗槽302、漂洗槽303、超声波模块4、进水管5、分流管51和排水管6,设备外防护1内横向设有水槽2,水槽2内间隔设有两个隔板3,通过两个隔板3将水槽2内部空间分割成横向排列的三个清洗槽,三个清洗槽由右至左分别设置为预洗槽301、主清洗槽302以及漂洗槽303,水槽2下部设有超声波模块4,水槽2上设有进水管5,进水管5通过三个分流管51分别与三个清洗槽连通,分流管51的管路上均设有流量调节阀,各清洗槽上均设有排水管6。
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