上海玛程工程技术有限公司盛应红获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玛程工程技术有限公司申请的专利一种半导体晶圆研磨废水前处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224113445U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520771686.8，技术领域涉及：B01D29/60；该实用新型一种半导体晶圆研磨废水前处理装置是由盛应红设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆研磨废水前处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体晶圆研磨废水前处理装置，半导体晶圆研磨废水前处理装置设有外箱体，外箱体设有进水口，在外箱体内固定设有第一过滤箱体；在第一过滤箱体内可拆卸安装有第二过滤板，进水口位于第二过滤板内部，第一过滤箱体和第二过滤板均为不锈钢孔板，第二过滤板的底板孔径大于第一过滤箱体的底板孔径；在外箱体内一侧底部连接有排污管，外箱体还设有与排污管同一侧的溢流口，溢流口通过溢流管路与排污管相连。通过在研磨废水排放管路增设本实用新型的前处理装置，可以有效过滤废水中的颗粒物，避免管道内壁研磨硅粉形成硅粉层，有效保证排放管道的持久运行。
本实用新型一种半导体晶圆研磨废水前处理装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆研磨废水前处理装置，所述半导体晶圆研磨废水前处理装置设有外箱体1，所述外箱体1设有与半导体晶圆研磨废水排放管路相连的进水口11，其特征在于， 在所述外箱体1内固定设有第一过滤箱体2，所述第一过滤箱体2高于外箱体底板，所述外箱体底板上固定安装有用以承托所述第一过滤箱体2的垫高支架14； 在所述第一过滤箱体2内可拆卸安装有第二过滤板3，所述进水口11位于所述第二过滤板3内部， 第一过滤箱体2和所述第二过滤板3的底板均为不锈钢孔板，所述第二过滤板3的底板孔径大于第一过滤箱体2的底板孔径； 在所述外箱体1内一侧底部连接有排污管4，所述外箱体1还设有与所述排污管4同一侧的溢流口5，所述溢流口5高于所述排污管4并通过溢流管路51与所述排污管4相连。
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