苏州义兰微电子有限公司吉文婷获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州义兰微电子有限公司申请的专利一种光刻胶去除气泡的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224113364U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520263989.9,技术领域涉及:B01D19/02;该实用新型一种光刻胶去除气泡的装置是由吉文婷设计研发完成,并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶去除气泡的装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种光刻胶去除气泡的装置,包括筒体,所述筒体的右侧固定连接有与其相连通的进料管,所述进料管上连通有加料管,所述筒体的左侧连通有出料管,所述进料管与出料管上均安装有电磁阀一,所述筒体的左侧连通有真空管,所述真空管上安装有真空泵,所述筒体的内壁转动连接有旋转杆,所述旋转杆上固定连接有均匀分布的搅拌杆。该实用新型,在对光刻胶进行真空脱泡时,可以对光刻胶进行搅拌,搅拌可以促使光刻胶中的气泡更快地移动到胶液表面,从而在真空环境下更容易膨胀和破裂,提高脱泡效率,而且搅拌有助于光刻胶在容器内均匀分布,避免局部气泡聚集,确保脱泡效果更加彻底。
本实用新型一种光刻胶去除气泡的装置在权利要求书中公布了:1.一种光刻胶去除气泡的装置,包括筒体1,其特征在于:所述筒体1的右侧固定连接有与其相连通的进料管2,所述进料管2上连通有加料管3,所述筒体1的左侧连通有出料管4,所述进料管2与出料管4上均安装有电磁阀一5,所述筒体1的左侧连通有真空管6,所述真空管6上安装有真空泵7,所述筒体1的内壁转动连接有旋转杆8,所述旋转杆8上固定连接有均匀分布的搅拌杆9,所述筒体1的顶部固定连接有电机10,所述电机10的输出轴贯穿筒体1并与旋转杆8固定连接; 所述进料管2的内壁固定连接有过滤板13,所述过滤板13位于右侧电磁阀一5的右侧; 所述进料管2的顶部连通有清洗管14,所述进料管2的底部连通有排污管15,所述清洗管14位于过滤板13的左侧,所述清洗管14、排污管15以及加料管3上安装有电磁阀二16。
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