中国科学院上海光学精密机械研究所蔡燕民获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种长工作距物方远心的投影光学系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121679871B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610203783.6,技术领域涉及:G02B13/22;该发明授权一种长工作距物方远心的投影光学系统是由蔡燕民;董作人设计研发完成,并于2026-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种长工作距物方远心的投影光学系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种长工作距物方远心的投影光学系统,从物平面一侧沿其光轴方向顺次包括物平面、真空窗口玻璃、第一透镜至第四透镜、孔径光阑、第五透镜至第六透镜、干涉滤波片、分束棱镜、像平面;所述的真空窗口玻璃和第一透镜至第四透镜的组合系统的后焦点位于孔径光阑中心点位置,构成物方远心光学结构;第一透镜前表面顶点与物平面的轴向距离为640mm,即物方工作距为640mm。可以有效地校正波像差、畸变等像差,实现良好的成像质量。采用本发明的长工作距的物方远心的投影光学系统,完全满足真空仓内液滴的位置、形状、速度等参数测量的技术要求。
本发明授权一种长工作距物方远心的投影光学系统在权利要求书中公布了:1.一种长工作距物方远心的投影光学系统,其特征在于,沿光轴从物方至像方依次包括:物平面、真空窗口玻璃、第一透镜至第四透镜、孔径光阑、第五透镜至第六透镜、干涉滤波片、分束棱镜和像平面; 其中,所述第一透镜为双凸透镜,第二透镜为弯向孔径光阑方向的弯月正透镜,第三透镜为弯向物平面方向的弯月负透镜,第四透镜为双凹透镜,第五透镜为双凹透镜,第六透镜为双凸透镜,且所述第一透镜至第六透镜的所有光学表面均为球面; 所述真空窗口玻璃与所述第一透镜至第四透镜共同组成的物镜前组,其组合光焦度为正,且所述物镜前组的像方焦点位于所述孔径光阑的中心位置,从而构成物方远心光路结构; 所述物平面到所述第一透镜的物侧面顶点的轴向距离为640mm±60mm,构成所述光学系统的物方工作距。
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