福建华清电子材料科技有限公司周清获国家专利权
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龙图腾网获悉福建华清电子材料科技有限公司申请的专利一种高强度氮化铝基板的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121248301B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511822078.6,技术领域涉及:C04B35/582;该发明授权一种高强度氮化铝基板的制备方法是由周清设计研发完成,并于2025-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高强度氮化铝基板的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高强度氮化铝基板的制备方法,涉及氮化铝基板制备技术领域。包括:制备改性氮化铝粉体;以改性氮化铝粉体为主原料,添加由氟化合物和硼化物组成的非氧系复合烧结助剂,得到混合料;复合烧结助剂的添加量为改性氮化铝粉体总质量的0.5wt%‑5wt%,将混合料与粘结剂、分散剂置于行星球磨机中混合,得到均匀浆料;将浆料进行流延成型,制成生瓷胚,随后在流动惰性气体保护下进行排胶处理,以去除粘结剂;将排胶后的生瓷胚置于气氛烧结炉中,执行多阶段升温烧结程序,形成陶瓷体;将烧结后的陶瓷体进行热处理,随后冷却得到氮化铝基板。本发明降低了氮化铝基板的晶格热阻,提高了氮化铝基板机械强度。
本发明授权一种高强度氮化铝基板的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高强度氮化铝基板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤一:制备改性氮化铝粉体,包括以下子步骤: S11、将氮化铝粉末分散于无水乙醇或去离子水中,形成固态物质含量为20wt%-40wt%的悬浮液; S12、向悬浮液中加入含钇化合物和含氟化合物的混合溶液,混合溶液中钇元素与氟元素的摩尔比为1:1.5-1:3,在60℃-80℃下恒温搅拌2小时-4小时,进行表面反应; S13、将反应后混合溶液中固态物质进行过滤、洗涤及干燥,然后将干燥后的固态物质在气氛烧结炉中,进行400℃-600℃、惰性气氛下热处理1小时-3小时,得到改性氮化铝粉体; 步骤二:以改性氮化铝粉体为主原料,添加由氟化合物和硼化物组成的非氧系复合烧结助剂,得到混合料;其中,复合烧结助剂的添加量为改性氮化铝粉体总质量的0.5wt%-5wt%,将混合料与粘结剂、增塑剂、以及分散剂置于行星球磨机中混合,得到均匀浆料; 步骤三:将浆料进行流延成型,制成生瓷胚,随后在流动惰性气体保护下进行排胶处理,以去除粘结剂和增塑剂; 步骤四:将排胶后的生瓷胚置于具有保护气体氛围的气氛烧结炉中,执行多阶段升温烧结程序,形成陶瓷体; 步骤五:将烧结后的陶瓷体进行热处理,以优化晶界结构,随后冷却得到氮化铝基板。
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