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北京理工大学冯立辉获国家专利权

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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利基于抖动结构的MEMS陀螺仪及其零偏抑制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115342794B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210791615.5,技术领域涉及:G01C19/5614;该发明授权基于抖动结构的MEMS陀螺仪及其零偏抑制方法是由冯立辉;郭军强;李兆军设计研发完成,并于2022-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

基于抖动结构的MEMS陀螺仪及其零偏抑制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于抖动结构的MEMS陀螺仪及其零偏抑制方法。本发明采用对陀螺仪敏感轴进行周期性抖动调制,通过二次解调最终获取角速度,在第二次解调获取角速度的同时将陀螺仪零偏调制到高频,并通过低通滤波将调制到高频的零偏予以消除。本发明零偏误差为0,不再需要对其零偏进行周期性的标定和补偿,这在实际应用中将会极大地节省用户维护的经济和时间成本。本发明解决了陀螺仪长期存储免标定的问题,极大的扩展MEMS陀螺仪在长航时、长航程纯惯性导航领域内的应用。

本发明授权基于抖动结构的MEMS陀螺仪及其零偏抑制方法在权利要求书中公布了:1.一种基于抖动的MEMS陀螺仪,包括双端音叉、音叉驱动模块、检测模块、抖动结构、抖动驱动模块、角速度计算模块;双端音叉包括驱动端和检测端,音叉驱动模块驱动双端音叉驱动端振动;抖动结构连接双端音叉,抖动驱动模块用于驱动抖动结构抖动,进而带动双端音叉的敏感轴抖动;其特征在于,检测模块检测抖动结构产生的抖动得到抖动调制信号,检测双端音叉驱动端的位移得到驱动端位移信号,检测双端音叉检测端的电信号得到检测端检测信号,检测模块将得到的抖动调制信号、驱动端位移信号和检测端检测信号送给角速度计算模块; 角速度计算模块接收检测模块得到的抖动调制信号、驱动端位移信号和检测端检测信号,根据驱动端位移信号、抖动驱动信号对检测端检测信号进行解调、滤波得到角速度信号; 所述抖动结构包括支撑柱、外圈、折叠梁及电极;支撑柱固定于MEMS陀螺中,外圈通过折叠梁与支撑柱连接且与支撑柱同轴设置,支撑柱约束于基板和音叉之间;电极布置于折叠梁的侧面且将与电极一端相连的外圈接地;多个折叠粱沿径向设置于支撑柱和外圈之间并在周向360度范围内均匀分布,折叠粱包括多段单梁和连接相邻单梁的连接部,每段单梁的侧面均设置有正负电极,多段单梁通过连接部连接形成左右对称的折叠结构,所述折叠结构用于增加正负电极的表面积; 折叠粱的单梁仅在左右侧面布置正负电极,左右侧面布置电极的方式相同,均采用长度方向上正负电极交错布置的方式,同一侧面和不同侧面的电极之间留有间隔;角度相邻的单梁的电极分布规律相反,角度相邻的折叠粱的电极分布规律相反; 折叠粱的单梁是长方体,在折叠粱对称轴上设置一段单梁,对称轴两侧分别设置n次对折结构,折叠粱共折叠2n次,n为自然数;外圈包括外圈主体、内辐条和外辐条,内辐条为可选设置,用于限位,内辐条一端连接外圈主体的内圈,一端悬空,内辐条均匀设置于角度相邻两个折叠粱之间,外辐条一端连接外圈主体的外圈,并在圆周上均匀分布,在外圈主体外的一个或多个圆周上、外辐条之间设置质量块,质量块两端通过连接粱与相邻的外辐条分别连接,从而构成外圈的镂空结构,整个镂空结构中心对称,重心位于外圈的中心;质量块分布的圈数范围为1~5,其数量对称分布,镂空结构中两外辐条间的开槽的深宽比大于13; 抖动结构的抖动频率等于敏感结构的检测端的检测频率与驱动端的驱动频率之差。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京理工大学,其通讯地址为:100081 北京市海淀区中关村南大街5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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