聚时科技(上海)有限公司陆俊杰获国家专利权
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龙图腾网获悉聚时科技(上海)有限公司申请的专利一种量测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224111615U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520631935.3，技术领域涉及：H10P74/20；该实用新型一种量测装置是由陆俊杰;吴昌力;郑军设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种量测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体检测技术领域，尤其是涉及一种量测装置；通过设置光源组件能够将经待检测晶圆表面产生的反射光束进行分光形成两束反射光，并基于两束反射光进行成像，从而增大扫描视野，可以使得同样的产率下精度提高一倍；并且通过设置调节组件，能够调节光源的空间位置以及光学组件的空间位置且各自由度之间相对解耦、调节方式便捷。
本实用新型一种量测装置在权利要求书中公布了：1.一种量测装置，其特征在于，包括设置在背板上的光源和光学组件，所述光源，用于产生具有目标姿态的激光入射光束至待检测对象表面，并经由所述待检测对象表面形成反射光束；所述光学组件，用于接收所述反射光束并形成两路光程相同的子光束，所述子光束进入对应的成像组件；还包括调节组件，用于调节所述光源的空间位置使所述激光入射光束呈目标姿态进行投射，还用于调节所述光学组件的空间位置使所述反射光束被完整接收。
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