杭州朗迅科技股份有限公司徐郑磊获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州朗迅科技股份有限公司申请的专利一种晶圆转运盒储存设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224111601U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520688423.0，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型一种晶圆转运盒储存设备是由徐郑磊;周丹锋设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆转运盒储存设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆转运盒储存设备，涉及半导体生产设备技术领域，包括箱体，箱体包括至少两个相对独立的密封仓和氮气系统，密封仓内设有至少一个氮气供气孔和湿度传感器，氮气系统根据湿度传感器控制密封仓的氮气供气管路的开启或关闭，密封仓设有独立开启的密闭门，密封仓内还设有至少一个工装板，工装板用于承载晶圆转运盒，工装板上设有在位传感器；箱体的背面还设有走线槽，走线槽连接至少两个密封仓，气体管路和控制线路通过走线槽连接至氮气系统。氮气系统可以独立控制每个密封仓的湿度，在针对一个密封仓取放晶圆周转盒时不会影响到其他密封仓内的湿度。
本实用新型一种晶圆转运盒储存设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆转运盒储存设备，其特征在于，包括箱体100，所述箱体100包括至少两个相对独立的密封仓110和氮气系统，所述密封仓110内设有至少一个氮气供气孔111和湿度传感器112，所述氮气供气孔111通过气体管路连接至氮气系统，所述湿度传感器112通过控制线路连接至氮气系统，所述氮气系统根据所述湿度传感器112控制所述密封仓110的氮气供气管路的开启或关闭，所述密封仓110设有独立开启的密闭门113，所述密闭门113设于箱体100的正面，所述密封仓110内还设有至少一个工装板114，所述工装板114用于承载晶圆转运盒，所述工装板114上设有在位传感器； 所述箱体100的背面还设有走线槽115，所述走线槽115连接至少两个密封仓110，所述气体管路和所述控制线路通过所述走线槽115连接至氮气系统。
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