安徽熙泰智能科技有限公司由振琪获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽熙泰智能科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗机罩体结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224111596U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520461991.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆清洗机罩体结构是由由振琪设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗机罩体结构在说明书摘要公布了：本实用新型所提供的晶圆清洗机罩体结构包括设置在晶圆清洗机上的罩体，罩体罩设在晶圆吸盘外侧，罩体能够减少在罩体内壁上液体的积聚，避免在晶圆清洗机内部的气流作用下，导致积聚的液体回溅到晶圆表面，造成晶圆污染，有利于提高晶圆的品质，使得本实用新型所提供的晶圆清洗机罩体结构能够避免液体回溅到晶圆表面上，能够避免清洗过程对晶圆造成额外污染问题，有利于提高晶圆品质。
本实用新型一种晶圆清洗机罩体结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗机罩体结构，其特征在于，包括设置在晶圆清洗机上的罩体10，所述罩体10罩设在晶圆吸盘1外侧，所述罩体10包括罩体内壁11和罩体外壁12，所述罩体内壁11位于所述罩体外壁12的内侧，所述罩体内壁11上设有第一折弯段111，所述第一折弯段111向所述晶圆吸盘1倾斜，所述罩体外壁12上设有第二折弯段121，所述第二折弯段121向所述晶圆吸盘1倾斜，所述第二折弯段121呈弯钩状，所述第一折弯段111和所述第二折弯段121之间设有排液间隙13，所述罩体内壁11和所述罩体外壁12之间设有排液流道14，所述排液流道14远离所述排液间隙13的底部呈“Y”字形，所述排液流道14远离所述排液间隙13的一端连接有排风系统3和废液排出系统4。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽熙泰智能科技有限公司，其通讯地址为：241000 安徽省芜湖市三山经济开发区高安街道三华山路22号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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