上海车仪田科技有限公司刘新阳获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利采样频率的计算方法、系统、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121682010B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610170078.0,技术领域涉及:G06F17/18;该发明授权采样频率的计算方法、系统、设备及存储介质是由刘新阳;张黎明设计研发完成,并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本采样频率的计算方法、系统、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请提供了一种光谱仪采样频率的计算方法、系统、设备及存储介质,涉及半导体检测技术领域,本申请从历史知识库中查询得到的基准参数和关键事件的时间窗集合为配置采样频率提供了先验依据;在每个采样周期基于采集的光谱数据生成实时适配因子,能够反映当前工况的即时变化;结合计时器时间和关键事件的时间窗集合匹配结果、基准参数和实时适配因子配置目标采样频率,可基于关键事件自适应配置采样频率,实现采样资源的按需分配;将目标采样频率用于下一个采样周期,形成连续闭环更新机制,从而在无需人工持续干预的情况下,动态生成最优采样策略,最终在实现数据采集整体效率大幅提升的同时,并保障工艺核心质量形成过程的可靠监控。
本发明授权采样频率的计算方法、系统、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种光谱仪采样频率的计算方法,其特征在于,适用于半导体外延生长检测装置,所述半导体外延生长检测装置包括光谱仪;所述方法包括: 响应于工艺变更信号,初始化计时器并确定当前工艺; 基于当前工艺,从预设的历史知识库中查询得到对应的基准参数和关键事件的时间窗集合; 针对当前工艺持续期间的每个采样周期,获取所述光谱仪基于当前采样频率采样得到的光谱数据,并基于所述光谱数据生成表征光谱异常程度的实时适配因子; 将当前采样周期对应的计时器时间和所述时间窗集合进行匹配,并根据匹配结果、所述基准参数和所述实时适配因子配置目标采样频率; 将所述目标采样频率作为所述光谱仪下一个采样周期的采样频率。
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