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龙图腾网获悉北京华林嘉业科技有限公司申请的专利一种转运装置及边缘腐蚀机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121510916B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610037225.7，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种转运装置及边缘腐蚀机是由张伟;耿彪;张凯;王强设计研发完成，并于2026-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种转运装置及边缘腐蚀机在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种转运装置及边缘腐蚀机。转运装置包括水平滑座、机械轴、工装以及第二旋转驱动模组，其中：水平滑座装设于机体上；机械轴的上端和第二旋转驱动模组均装设于水平滑座上；工装包括容置框、夹板以及两个压板，容置框固设于机械轴的下端，容置框内用于沿第一中心线顺次叠放多片晶圆，容置框内每相邻的两片晶圆之间夹有一个夹板，两个压板用于夹紧容置框内的所有晶圆和所有夹板；第二旋转驱动模组被配置为驱使两个压板围绕第一中心线旋转。上述转运装置能够形成阻隔腐蚀液流向晶圆的中心区的物理屏障，提升晶圆的加工效率和腐蚀位置精度，还能够避免存在腐蚀盲区。

本发明授权一种转运装置及边缘腐蚀机在权利要求书中公布了：1.一种转运装置，应用于边缘腐蚀机上，所述边缘腐蚀机包括机体1和装设于所述机体1上的腐蚀槽体21，所述转运装置用于将晶圆100放入所述腐蚀槽体21内，其特征在于，所述转运装置包括水平滑座432、机械轴42、工装41以及第二旋转驱动模组46，其中： 所述水平滑座432装设于所述机体1上； 所述机械轴42的上端和所述第二旋转驱动模组46均装设于所述水平滑座432上； 所述工装41包括容置框411、夹板412以及两个压板413，所述容置框411固设于所述机械轴42的下端，所述容置框411内用于沿第一中心线顺次叠放多片晶圆100，所述容置框411内每相邻的两片晶圆100之间夹有一个所述夹板412，每个所述夹板412与其两侧相邻的晶圆100的非腐蚀区域的周缘或整体紧密贴合，两个所述压板413用于夹紧所述容置框411内的所有晶圆100和所有所述夹板412； 所述第二旋转驱动模组46被配置为驱使两个所述压板413围绕所述第一中心线旋转； 所述第二旋转驱动模组46包括第四驱动源461和传动芯轴462，其中： 所述第四驱动源461装设于所述水平滑座432上并用于驱使所述传动芯轴462围绕自身轴线旋转； 所述传动芯轴462呈贯穿式同轴设置于所述机械轴42的内部，所述传动芯轴462的上端连接于所述第四驱动源461的动力输出端且其下端连接于其中一个所述压板413，所述传动芯轴462被配置为在围绕自身轴线旋转的过程带动所述压板413围绕所述第一中心线旋转。

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