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龙图腾网获悉诚联恺达(河北)科技股份有限公司申请的专利一种真空阀的控制方法、装置、设备以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121496347B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610024706.4，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种真空阀的控制方法、装置、设备以及存储介质是由杨丽;崔会猛;陈春喜;王召尘;孙好;梁佳伟;姚冲设计研发完成，并于2026-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空阀的控制方法、装置、设备以及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种真空阀的控制方法、装置、设备以及存储介质，涉及真空阀领域，该方法包括：获取真空室气压和气压变化率；根据所述气压变化率，判断执行的动作；若判断执行的动作为抽真空过程，根据所述真空室气压，确定在抽真空过程中所属的真空阶段；根据所述真空阶段，生成对应的第一阀门开度控制指令；根据所述第一阀门开度控制指令，驱动执行机构调整真空阀开度；若判断执行的动作为放气过程，基于所述气压变化率所表征的气压恢复速率，采用分级预测控制策略生成第二阀门开度控制指令；根据所述第二阀门开度控制指令，驱动执行机构调整真空阀开度。该方法能够提高对真空镀膜设备的智能真空阀的控制准确性。

本发明授权一种真空阀的控制方法、装置、设备以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种真空阀的控制方法，其特征在于，所述方法包括： 获取真空室气压和气压变化率； 根据所述气压变化率，判断执行的动作； 若判断执行的动作为抽真空过程，根据所述真空室气压，确定在抽真空过程中所属的真空阶段；根据所述真空阶段，生成对应的第一阀门开度控制指令；根据所述第一阀门开度控制指令，驱动执行机构调整真空阀开度； 所述真空阶段包括第一真空阶段、第二真空阶段和第三真空阶段，第一真空阶段对应的气压范围的气压最小值大于第二真空阶段对应的气压范围的气压最大值，第二真空阶段对应的气压范围的气压最小值大于第三真空阶段对应的气压范围的气压最大值，根据所述真空阶段，生成对应的第一阀门开度控制指令，包括： 当所述真空阶段为第一真空阶段时，基于气压误差及气压误差的变化率，通过第一算法生成第一阀门开度控制指令； 当所述真空阶段为第二真空阶段时，基于气压误差、气压误差的积分值及气压误差的变化率，通过第二算法生成第一阀门开度控制指令； 当所述真空阶段为第三真空阶段时，基于气压误差、气压误差的积分值、气压误差的变化率及前馈补偿量，通过第三算法生成第一阀门开度控制指令； 若判断执行的动作为放气过程，基于所述气压变化率所表征的气压恢复速率，采用分级预测控制策略生成第二阀门开度控制指令；根据所述第二阀门开度控制指令，驱动执行机构调整真空阀开度； 所述采用分级预测控制策略生成第二阀门开度控制指令，包括： 根据所述气压恢复速率，匹配预设的控制等级； 根据所匹配控制等级对应的目标开度曲线与真空阀当前开度的偏差，生成所述第二阀门开度控制指令。

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