合肥国家实验室;中国科学技术大学胡水明获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥国家实验室;中国科学技术大学申请的专利一种压力原级计量系统和光学压力计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121453269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202512059454.7,技术领域涉及:G01L11/02;该发明授权一种压力原级计量系统和光学压力计是由胡水明;聂中梁;王进;谈艳设计研发完成,并于2025-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压力原级计量系统和光学压力计在说明书摘要公布了:本申请提供了一种压力原级计量系统和光学压力计,涉及压力计技术领域,该系统包括真空密封腔、激光输出模块、双通道谐振腔和处理模块。双通道谐振腔位于真空密封腔,包括基于同一基底形成的真空参考谐振腔和敞开式测量谐振腔,使得二者的腔体形变可以相互抵消。参考谐振腔基于第一激光束形成第一透射光信号,测量谐振腔基于第二激光束形成第二透射光信号。处理模块包括频移单元和处理单元,在真空密封腔充气前后,频移单元分别对第二激光束进行频移,并传输至测量谐振腔,处理单元基于第二透射光信号获取第二激光束的频率,并基于第一激光束和第二激光束的频率差获取真空密封腔的内部压力,避免引入复杂的锁频光路与电子反馈控制系统。
本发明授权一种压力原级计量系统和光学压力计在权利要求书中公布了:1.一种压力原级计量系统,其特征在于,包括:真空密封腔和压力计量结构,所述压力计量结构包括: 双通道谐振腔,位于所述真空密封腔中,包括形成于同一基底上的参考谐振腔和测量谐振腔,所述参考谐振腔为密封的真空谐振腔,所述测量谐振腔为具有开口的敞开式谐振腔; 激光输出模块,输出第一激光束和第二激光束,所述双通道谐振腔位于所述第一激光束和所述第二激光束的传输路径上,所述参考谐振腔基于耦合进入其谐振腔体中的所述第一激光束形成第一透射光信号,所述测量谐振腔基于耦合进入其谐振腔体中的所述第二激光束形成第二透射光信号; 处理模块,包括频移单元和处理单元,在所述真空密封腔处于真空状态以及充气后,所述频移单元分别对所述第二激光束进行频移,并将频移后的所述第二激光束传输至所述测量谐振腔;所述处理单元位于所述第一透射光信号和所述第二透射光信号的传输路径上,在所述真空密封腔处于真空状态以及充气后,所述处理单元分别探测所述第二透射光信号,并基于所述第二透射光信号获取所述第二激光束的频率;所述处理单元还基于所述第一激光束和所述第二激光束的频率差,获取所述真空密封腔的内部压力; 其中,所述频率差包括所述真空密封腔处于真空状态时的频率差,以及充气后的频率差。
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