买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种工艺终点的检测方法及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121419610B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511983433.8，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权一种工艺终点的检测方法及半导体设备是由张南南;张黎明;云燕午;任聪群设计研发完成，并于2025-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工艺终点的检测方法及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种工艺终点的检测方法及半导体设备，检测方法包括，向吸收池内吹扫惰性气体，采集惰性气体的惰性气体干涉图得到初始背景光谱，将初始背景光谱作为基准背景光谱；停止惰性气体的吹扫，将半导体设备的尾气排放管路中的待检测气体通入吸收池，采集待检测气体干涉图并得到样品光谱；以设定时间为周期，获取检测背景光谱；判断是否需要将检测背景光谱更新为基准背景光谱；在预设条件下，测定待检测气体中的至少三种特征气体的标准吸光度系数k并构建系数矩阵K；根据系数矩阵K获取对应的特征气体的浓度c；设定浓度阈值、浓度变化率阈值以及副产物突变阈值，并判断是否到达工艺终点。本发明的光谱检测范围宽且检测过程稳定。

本发明授权一种工艺终点的检测方法及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺终点的检测方法，其特征在于，用于半导体设备中，所述检测方法包括以下步骤： 保持吸收池的温度为150–200℃，向吸收池内吹扫惰性气体；启动干涉仪，获取设定个数的惰性气体干涉图，对多个所述惰性气体干涉图逐点累加后求均值，并做快速傅里叶变换，得到初始背景光谱，将所述初始背景光谱作为基准背景光谱；其中，惰性气体的气体流量大于1Lmin，吹扫时间为30–60s； 停止所述惰性气体的吹扫，将所述半导体设备的尾气排放管路中的待检测气体通入吸收池，采集待检测气体干涉图并得到样品光谱； 以设定时间为周期，通入惰性气体，获取检测背景光谱；将检测背景光谱在参考波段内的积分强度与基准背景光谱的对应积分强度进行比较，以判断是否需要将所述检测背景光谱更新为所述基准背景光谱； 将检测背景光谱在参考波段内的积分强度与基准背景光谱的对应积分强度进行比较，得到相对漂移量， 当所述相对漂移量小于等于5%时，继续沿用所述基准背景光谱；当所述相对漂移量大于5%时，重新通入惰性气体，并采集新背景光谱作为所述基准背景光谱； 在预设条件下，测定所述待检测气体中的至少三种特征气体的标准吸光度系数k并构建系数矩阵K；预设条件为吸收池温度为180±1℃；光程为2–5m；波段为； 根据所述系数矩阵K获取对应的所述特征气体的浓度c； 设定浓度阈值、浓度变化率阈值以及副产物突变阈值，并判断是否到达工艺终点。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海车仪田科技有限公司，其通讯地址为：201114 上海市闵行区新骏环路138号2幢102、202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。