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龙图腾网获悉正阳融合微电子技术(珠海)有限公司申请的专利一种单片湿法设备的阵列扫描式介质喷淋系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121419584B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512007227.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种单片湿法设备的阵列扫描式介质喷淋系统及方法是由彭勇设计研发完成，并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单片湿法设备的阵列扫描式介质喷淋系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种单片湿法设备的阵列扫描式介质喷淋系统及方法。该系统包括工艺腔室及设置于其内的阵列扫描式喷淋模组，喷淋模组包含溶液喷头、输出管路阵列、输入管路阵列和干燥管路模组，输入管路阵列包括工艺化学液组合增强组件、工艺化学液输入组件、混合水气输入组件、热纯水输入组件和常温纯水输入组件，输出管路阵列包括工艺化学液增强组合喷淋组件、工艺化学液常温稀释喷淋组件、工艺化学液高温稀释喷淋组件以及若干纯水喷淋组件，各组件通过特定连接关系与输入组件对应连通；方法包括独立控制各输入组件上气动阀单元的启闭以形成介质路径，并进行喷淋。本发明涉及半导体湿法喷淋技术领域。

本发明授权一种单片湿法设备的阵列扫描式介质喷淋系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种单片湿法设备的阵列扫描式介质喷淋系统，包括工艺腔室10和设置于所述工艺腔室10内的阵列扫描式喷淋模组20，其特征在于：所述阵列扫描式喷淋模组20包括沿扫描方向排列的若干溶液喷头1、与每个所述溶液喷头1相连接的输出管路阵列2、与所述输出管路阵列2的输入端相连接的输入管路阵列3以及干燥管路模组4，所述输入管路阵列3包括工艺化学液组合增强组件31、工艺化学液输入组件32、混合水气输入组件33、热纯水输入组件34以及常温纯水输入组件35，所述输出管路阵列2包括工艺化学液增强组合喷淋组件21、工艺化学液常温稀释喷淋组件22、工艺化学液高温稀释喷淋组件23以及若干纯水喷淋组件24，所述工艺化学液组合增强组件31与所述工艺化学液增强组合喷淋组件21相连接，所述工艺化学液输入组件32、混合水气输入组件33和常温纯水输入组件35与所述工艺化学液常温稀释喷淋组件22相连接，所述工艺化学液输入组件32、热纯水输入组件34和常温纯水输入组件35与所述工艺化学液高温稀释喷淋组件23相连接，所述混合水气输入组件33、热纯水输入组件34和常温纯水输入组件35共同与每个所述纯水喷淋组件24相连接； 所述工艺化学液组合增强组件31包括相互并联的第一工艺化学液输入管路模块311和增强化学液输入管路模块312，所述第一工艺化学液输入管路模块311和增强化学液输入管路模块312均与所述工艺化学液增强组合喷淋组件21相连接； 所述第一工艺化学液输入管路模块311包括第一工艺化学液输入管路3111和设置于所述第一工艺化学液输入管路3111输出端的第一气动阀单元3112，所述增强化学液输入管路模块312包括增强化学液输入管路3121和设置于所述增强化学液输入管路3121输出端的第二气动阀单元3122，所述第一气动阀单元3112和第二气动阀单元3122并联与所述工艺化学液增强组合喷淋组件21相连接。

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